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zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
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전화
18610520676
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주소
북경경제기술개발구 경원가 13호원
제품 카테고리
북경화승전자유한공사
개요
VS100 진공 압력 스위치는 압력 저항식 압력 센서를 이용하여 매체의 압력 변화를 감지하고, 미리 설정된 압력 동작점과 비교하여 압력을 스위치 양 신호로 변환한다.집적회로, 패키징, 반도체 조명, 전력 반도체, 화합물 반도체 분야에 응용된다.
제품 정보
혁신 포인트
동작 압력점은 재료 종류와 고객 재고 품목을 효과적으로 줄일 수 있도록 설정할 수 있다
압력 동작점 설정은 75~735Torr, 20~990Torr 등을 포함한다.
정밀도가 높다
기존의 기계식 진공 스위치를 대체할 수 있다.
응용 분야
반도체 - 집적회로
반도체 - 패키징
반도체 조명
전력 반도체
화합물 반도체
기술 지표
| 모델 | VS100은 | |
| 측정 및 압력 동작점 설정 | 측정 범위 | 압력 동작점 설정 |
| 절압 750Torr | 75-735 트레이 | |
| 절압 1000Torr | 20-990 토르 | |
| 표압 - 750~750Torr | -150-110토르 | |
| 참고: 압력 동작점 설정값은 일반적으로 1% * FS ~ 99% * FS | ||
| 기본 설정 | 일반 모델 기본값은 최대 경고, 동작 지점 99% FS, 지연 2% FS입니다. 정해진 시간에 공급업체가 제공하는 전용 소프트웨어와 케이블을 사용해야 합니다. | |
| 정밀도 | ±0.5%FS | |
| 누락률 | <1x10-9atm.cc/sec 그는 | |
| 온도 표류 계수 | 0.1% FS / ℃ | |
| 작동 온도 범위 | 0～80℃ | |
| 내압 한계 | 정격 압력의 2배 | |
| 폭파압력 | 정격 압력의 5배 | |
| 프로세스 측면 재료 | 316L Ss 세미 F20/하스텔로이 C-276 | |
| 전력 공급 전압 | 24V±10%VDC | |
| 출력 | 패시브 터치 릴레이 출력(1NO, 1NC)이 켜지지 않으면 NO는 켜짐, NC는 꺼짐 | |
| 전기 인터페이스 | 산선/DB9 male | |
| 동작 점 설정 방법 | 출하 전 설정 / 클라이언트 설정 | |
| 인터페이스 유형 | 1.125 "C-seal/1.125" W-seal/4VCR/KF25 (NW25)/KF16 | |
