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이메일
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
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전화
18610520676
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주소
북경경제기술개발구 경원가 13호원
제품 카테고리
북경화승전자유한공사
개요
BV300 나비 밸브는 반도체, 평면 디스플레이, 결정 실리콘 태양 에너지 및 산업 제조 공정에 널리 사용되며, 챔버의 하류 압력을 제어하는 데 사용되며, 까다로운 공정 조건에서 빠른 압력 제어 수요를 맞춤형으로 해결할 수 있다.
제품 정보
혁신 포인트
2소켓 자체 매칭 압력 감지 기술
2방향 진공 게이지 신호 수집을 지원하며, ± 15V 또는 + 24V 진공 게이지 전력 공급과 호환되며, 공정 수요에 따라 자동으로 측정 거리를 전환할 수 있다.
L-V-P 압력 제어 기술
압력제어단위는 공예환경에서의 압력과 밸브의 개도관계를 기록하여 위치, 속도와 압력의 3환을 상결계약할 때 압위비, 위압비, 목표압력위치, 목표압력추산시간에 도달하는 동태계산을 진행함으로써 밸브의 개도변화량에 주동적으로 간섭하여 신속하고 안정적인 압력제어를 실현한다.
자체 학습 기능 기술
자가 학습 기능을 지원하여 서로 다른 챔버 진공 시스템 및 서로 다른 작업 상황에 적응하여 빠르고 정확한 압력 제어를 실현할 수 있다.
서보 구동 기술
맞춤형 서보 제어 슬라이드 탑재 시스템을 사용하여 다중 슬로프 제어 알고리즘을 통해 나비판의 더 빠른 위치를 실현하고 스위치 응답 시간은 0.2s에 달한다.
응용 분야
반도체 - 집적회로
반도체 - 패키징
반도체 디스플레이
반도체 조명
반도체 - 마이크로컴퓨터 시스템
전력 반도체
화합물 반도체
기술 지표
| 모델 | BV300은 |
| 플랜지 포트 형식 및 크기 | ISO-KF: DN40, DN50;ISO-F: DN63, DN80, DN100, DN160, DN200 |
| 누락률 | 1 × 10E-9 mbar l/s의 |
| 압력 범위 (20 ℃ 시) | 1×10E-8mbar-1.2bar (abs) |
| 압력 제어 정밀도 | 5 mV or 0.1%of setpoint,양자취 |
| 센서 입력 신호 | 0-10VDC |
| 소재 | 밸브/밸브판: 316L/알루미늄;씰링: 불소고무/전불소 |
| 위치 해상도 | 12800(90° 각도) |
| 응답 시간 | 비밀봉형: 스위치 0.2S, 밀봉형: 스위치 0.6S |
| 통신 인터페이스 | D-Sub, DB-25 여성, RS422/RS485, RS232의 DeviceNet, EtherCAT |
| 전력 공급 인터페이스 | D-Sub, DA-15 남성, +24 VDC (±10%) @0.5 V pk-pk 최대 |
| 진공 게이지 커넥터 (센서 커넥터) | D-Sub, DA-15 여성 |
| 운영 환경 온도 | 0℃ to +50℃ max. (<35℃ 권장) |
| 설치 위치 | 수평 및 수직 설치 |
주의:
나비 밸브는 공장에서 일반적으로 전압으로 센서 신호를 측정한다.
기체 압력의 단위는 Torr(토),mbar(mbar)
표준 상태는 온도-273.15K(0℃)로 규정한다.기압 -- 101325Pa(760mmHg)
F.S.(Full Scale): 전체 스레드 값;S.P.(Set Point): 좌표 입력 값 설정
