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이메일
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
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전화
18610520676
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주소
북경경제기술개발구 경원가 13호원
제품 카테고리
북경화승전자유한공사
개요
BV200 나비밸브는 디지털형 압력제어류 밸브 제품으로 기체압력의 제어에 높은 정확도와 높은 신뢰성을 제공한다.이 제품은 단일 전원 공급 장치 + 24VDC를 사용하여 전력을 공급하는 디지털 신호 제어를 지원합니다.
제품 정보
혁신 포인트
2소켓 자체 매칭 압력 감지 기술
2방향 진공 게이지 신호 수집을 지원하며, ± 15V 또는 ± 24 진공 게이지 전력 공급과 호환되며, 공정 수요에 따라 자동으로 측정 거리를 전환할 수 있다.
자체 학습 기능 기술
독학 기능을 지원하여 서로 다른 챔버 진공 시스템 및 서로 다른 작업 상황에 적응하여 빠르고 정확한 압력 제어를 실현할 수 있다.
L-V-P 압력 제어 기술
압력제어단위는 공예환경에서의 압력과 밸브의 개도관계를 기록하여 위치, 속도와 압력의 3환을 결합시키는 동시에 압위비, 위압비, 목표압력위치, 목표압력추산시간에 도달하는 동태계산을 진행함으로써 밸브의 개도변화량에 주동적으로 간섭하여 신속하고 안정적인 압력제어를 실현한다.
서보 구동 기술
맞춤형 서보 제어 슬라이드 탑재 시스템을 사용하여 다중 슬로프 제어 알고리즘을 통해 나비판의 더 빠른 위치를 실현하고 스위치 응답 시간은 0.2초에 달한다.
응용 분야
반도체 - 집적회로
전력 반도체
기술 지표
| 모델 | BV200은 | |
| 소재 | 밸브 / 밸브 플레이트 | 알루미늄 합금 6061 / 스테인리스 스틸 613L |
| 축 / 밸브판 나사 | 스테인리스 스틸 316L | |
| 베어링 슬리브 | lglidur X는 | |
| 베어링 코일 | 환경측 | FKM은 |
| 진공단 | FKM은 | |
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밸브 누출률 | 스테인리스 재질 | 1×10E-9 mbar ·L/s |
| 통신 인터페이스 | RS485(D-sub female, DB25) 또는 DeviceNet(DNET 항공 플러그) | |
| 전력 공급구 | 인터페이스 유형 | D-하위 남성, DA15 |
| 전압 | +24 VDC | |
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전력 소모 | 제어 / 제어 | 40W |
| 사용 환경 | 온도 | 섭씨 0~50도, 35도 이하에서 사용하는 것이 좋습니다. |
| 습도 | 0~95%RH | |
| 게이지 인터페이스 매개변수 | 인터페이스 유형 | D-하위 여성, DA15 |
| 신호 전압 | 0~10VDC 선형 압력 | |
| ADC 해상도 | 0.1 mV | |
| 샘플링 시간 | 2ms | |
| 전원 공급 전압 (출력) | 최대 +24 VDC/1.5A. | |
| 실행자 | 스텝 모터 | |
| 모터 해상도 | 12800(90°) | |
| 제어 압력 정밀도 | 5mV 또는 설정점의 0.1%, 큰 값 | |
| 보호 등급 | IP 40의 | |
| 채널 내경 | 40mm/50mm/63mm/80mm/100mm | |
| 밸브판 스위치 시간 | 0.2초 | |
주의:
나비 밸브는 공장에서 일반적으로 전압으로 센서 신호를 측정한다.
기체 압력의 단위는 Torr(토),mbar(mbar)
표준 상태는 온도-273.15K(0℃)로 규정한다.기압 -- 101325Pa(760mmHg)
화승전자PC제품에서 단위SCCM과"mL/min, 0°c, 1atm"은 동일하고 단위SLM과"L/min, 0℃, 1atm"은 동일하다
F.S.(Full Scale): 전체 스레드 값;S.P.(Set Point): 좌표 입력 값 설정
