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DP100 압차계

협상 가능업데이트01/07
모델
제조업체의 성격
생산자
제품 카테고리
원산지 Place of Origin

개요

DP100 압차계는 다양한 응용 프로그램의 산업 및 전자 제어 시스템에 사용할 수 있는 정확성과 반복성을 가지고 있으며, 본 제품은 초박막 필름을 감압 소자로 하여 참조 챔버와 테스트 챔버 사이의 가스 압력 차이를 정확하게 측정할 수 있습니다.

제품 정보

혁신 포인트

압력 실시간 측정

응답 시간이 빠르고 가스 압력은 실시간으로 아날로그 양의 데이터로 출력됩니다.

제로 조정 기능

제품이 작업할 때나 장기간 작업하거나 오염이 발생한 후, 제품에 영점 표류가 발생할 수 있으며, 이때 영점 조정을 진행할 수 있다.

응용 분야

반도체 - 집적회로

특수 산업 - 진공 도금

생명 과학 - 의료 건강

과학연구-실험기재

기술 지표

모델 DP100은

지표

단위

사양 매개변수

범위 Full Scale Ranges

mbar

1 ~ 1000등
(사용자 정의 가능)

정밀도 Accuracy

%의 F.S.

±0.5%;±0.3%

해상도 Resolution

%의 F.S.

0.003%

작동 온도 범위 Ambient Operating Temperature

0 ~ 50℃

가열 온도 Sensor Heated Temperature

무가열

예열 시간 Warm-up Time

h

0.5

내압 한계 Overpressure Limit

Psia는

20

프로세스 측면 재료 Materials Exposed to Process Gases

/

니켈합금 등

전원 공급 전압 Input Power Required

VDC는

24V±10%의 VDC

출력 신호 Output Signal

VDC는

4 ~ 20mA

전기 커넥터 Electrical Connectors

/

D형 9핀 양커넥터

캐비티 감지 인터페이스 Connection Fittings

/

VCR1/4″모 커넥터, VCR1/4″공 커넥터

설치 방법 Install type

/

세로 또는 수평