BV100 나비 밸브

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모델

제조업체의 성격: 생산자

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개요

BV100 나비 밸브는 반도체, 평면 디스플레이, 결정 실리콘 태양 에너지 및 산업 공정에 널리 사용되며 챔버의 하류 압력을 제어하는 데 사용됩니다.

제품 정보

혁신 포인트

2소켓 자체 매칭 압력 감지 기술

2방향 진공 게이지 신호 수집을 지원하며, ± 15V 또는 ± 24V 진공 게이지 전력 공급과 호환되며, 공정 수요에 따라 자동으로 측정 거리를 전환할 수 있다.

L-V-P 압력 제어 기술

압력제어단위는 공예환경에서의 압력과 밸브의 개도관계를 기록하여 위치, 속도와 압력의 3환을 결합시키는 동시에 압위비, 위압비, 목표압력위치, 목표압력추산시간에 도달하는 동태계산을 진행함으로써 밸브의 개도변화량에 주동적으로 간섭하여 신속하고 안정적인 압력제어를 실현한다.

서보 구동 기술

맞춤형 서보 제어 슬라이드 탑재 시스템을 사용하여 다중 슬로프 제어 알고리즘을 통해 나비판의 더 빠른 위치를 실현하고 스위치 응답 시간은 0.2s에 달한다.

응용 분야

반도체 - 집적회로

반도체 디스플레이

기술 지표

모델	BV100은
습도	0~95%RH
인터페이스 유형	D-sub 여성, DA15
신호 전압	0 ~ 10VDC 선형 압력
ADC 해상도	0.1 mV
샘플링 시간	2ms
전원 공급 전압 (출력)	최대 +24 VDC/1.5A.
실행자	스텝 모터
모터 해상도	12800( 90°）
제어 압력 정밀도	5mV 또는 설정점의 0.1%, 큰 값
보호 등급	IP 40의
채널 내경	40mm/50mm/63mm/80mm/100mm
밸브판 스위치 시간	0.2초

주의:

나비 밸브는 공장에서 일반적으로 전압으로 센서 신호를 측정한다.

가스 압력의 단위 규정: Torr(토)

표준 상태는 온도-273.15K(0℃);기압 -- 101325Pa(760mmHg)

F.S.(Full Scale): 전체 스레드 값;S.P.(Set Point): 좌표 입력 값 설정

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