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이메일
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
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전화
18610520676
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주소
북경경제기술개발구 경원가 13호원
제품 카테고리
북경화승전자유한공사
개요
PC300 압력 컨트롤러는 완전한 유량계 기능을 갖춘 압력 컨트롤러로, 주로 반도체 분야에 응용된다. 예를 들어 웨이퍼 후면 냉각 시스템에서 헬륨, 질소, 아르곤 등 실리콘 후면의 냉각 가스의 압력을 제어하는 데 사용된다.
제품 정보
혁신 포인트
제품 전체 디지털화
제품은 마이크로프로세서를 채용하여 높은 지능화, 높은 신뢰성, 유지 보수가 편리한 장점을 가지고 있다.
이중 제어 기술
제품은 이중 제어 기술을 사용하여 높은 응답성과 높은 정밀도의 성능 지표를 실현할 수 있다.
응용 분야
반도체 - 집적회로
반도체 - 패키징
반도체 디스플레이
반도체 조명
반도체 - 마이크로컴퓨터 시스템
전력 반도체
화합물 반도체
기술 지표
| 모델 | PC300은 |
| 전체 거리 유량 | (10 20 50 100 200 500 5000) SCCM |
| 만량정압력 | (10 20 50 100) 받침 |
| 제어 방법 | 다운스트림 |
| 압력 제어 정밀도 | F.S의 ±0.2% |
| 반복 제어 | F.S의 ±0.2% |
| 응답 시간 | <1.0 초 |
| 작동 온도 범위 | 10℃에서 50℃ |
| 밸브 유형 | 일반적으로 폐쇄 |
| 누락률 | <1x10-12(SCC/SEC He) |
