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이메일
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
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전화
18610520676
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주소
북경경제기술개발구 경원가 13호원
제품 카테고리
북경화승전자유한공사
개요
PC200 압력 컨트롤러는 가스의 압력을 정밀하게 제어하고 측정하는 데 사용됩니다.주로 반도체와의 집적회로공정, 특수재료, 화학공업, 석유공업, 의약, 환경보호와 진공 등 분야에 응용된다.
제품 정보
혁신 포인트
듀얼 전원 공급 장치 넓은 범위의 전원 공급 장치 지원
± 15VDC를 사용하여 전력을 공급하고 이중 전원 공급 장치는 넓은 범위에서 전력을 공급하며 전류가 적고 전력 소비량이 적습니다.
아날로그 전압 4가지 조합 형식
아날로그 전압 입력과 출력은 네 가지 조합으로 선택할 수 있다.
상하류 제어 압력
상하류는 모두 압력제어를 실현할수 있으며 통로의 흐름을 전환하여 소프트웨어가 상하류의 제어매개 변수를 개변하면 압력제어모식을 전환할수 있다.
응용 분야
반도체 - 집적회로
반도체 - 디스플레이
생명과학-분석기기
과학연구-실험기재
기술 지표
| 모델 | PC200은 |
| 압력 유형 | 절압, 표압 |
| 압력을 제어하는 만량정 | 절압: 1000Torr, 2000Torr;300Kpa, 3000mbar 표압: 500Kpa |
| 내압 | 3MPa의 |
| 밸브 전체 거리 유량 | 200sccm;1, 2, 4, 5, 10, 15, 50SLM |
| 제어 방법 | 업스트림, 다운스트림 |
| 온도계수 | 영: F.s./℃의 ±0.02%;범위: Reading/℃의 ±0.04% |
| 압력 해상도 | 0.1토르 |
| 압력 제어 정밀도 | F.S의 ±0.5% |
| 응답 시간 | <1.0 S |
| 작동 온도 범위 | 5℃~50℃ |
| 기계적 인터페이스 | VCR1/4'양커넥터, VCR3/8'양커넥터 |
| 밸브 유형 | 항상 닫다 |
| 외부 유출 | <5x10>-12(Pa.m)3그는) |
| 내루 | <1.0% of 밸브구 만량정 유량(밸브가 닫혔을 때 흡기단은 25psig, 출기단은 대기) |
| 전원 공급 장치 | +15~+24VDC(단일 레벨), ±15VDC(이극, DB-9핀 커넥터만 지원) |
| 전기 인터페이스 | DeviceNet 커넥터, DB-9핀, EtherCAT 커넥터 |
주의:
가스 압력 컨트롤러는 일반적으로 공장에서 질소(N2) 을 나타냅니다.
기체 압력의 단위는 Torr(토),mbar(mbar);KPa (킬로파스칼),
표준 상태는 온도-273.15K(0℃)로 규정한다.기압 -- 101325Pa(760mmHg)
화승전자PC제품에서는 단위SCCM과"mL/min, 0°c, 1atm"이 동일하고 단위SLM과"L/min, 0℃, 1atm"이 동일하다.
F.S.(Full Scale): 전체 스레드 값;S.P.(Set Point): 좌표 입력 값 설정
