PC100 압력 컨트롤러

협상 가능업데이트01/07

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온라인 상담

개요

PC100 압력제어기는 디지털 압력제어 제품으로 가스 압력의 제어, 측정에 높은 정확도와 높은 신뢰성을 제공한다.디지털 신호와 0~5V 아날로그 신호를 동시에 지원하며 단일 전원으로 전원을 공급할 수 있다.또한 표준 개방된 통신 프로토콜은 고객이 스스로 제어, 수집 소프트웨어를 개발하는 데 편의를 제공할 수 있다.

제품 정보

혁신 포인트

PTS 기반 압력 감지 기술

한편으로 압력, 온도 쌍참량 최적화를 통해 압력-온도 데이터 템플릿 계산 보상 계수표를 구축하여 온도 보상을 진행한다.다른 한편으로 센서의 설치위치를 개진하고 공강의 부피를 축소 검측하는 방식을 통해 센서의 신호측정을 더욱 정확하고 정확하게 압력을 통제할수 있다.

AI 기반 압력 제어 기술

압력 파동 데이터 모델을 구축하여 고정 유량 압력 파동, 고정 압력 유량 파동 등 모델을 신속하게 식별한다.서로 다른 패턴에 따라 밸브 전압을 미리 늘리거나 줄이는 방식으로 압력 PID 조절을 하는데, 이 전략은 응답 속도가 빠르고 제어가 안정적이라는 특징을 가지고 있다.

전금속 내부식 기술

임베디드 플루오로 비율 조절 밸브 기술을 채택하다.밸브 밀봉 구조는 주로 316L 스테인리스 스틸과 테트라 플루오로 재료 (PTFE) 를 사용합니다.PTFE 소재는 금속 밀봉보다 밀폐성이 우수한 다양한 유형의 부식성 가스에 적용되는 제품의 수명을 향상시킵니다.

응용 분야

반도체 - 디스플레이

반도체 - 집적회로

반도체-조명

청정 에너지 - 태양광

기술 지표

모델	PC100은
압력 유형	절압
압력을 제어하는 만량정	1000Torr, 1200mbar의
내압	3MPa의
밸브 전체 거리 유량	50, 500sccm;1, 2, 3, 5SLM
제어 방법	업스트림
온도계수	영: F.s./℃의 ±0.02%;범위: Reading/℃의 ±0.04%
압력 해상도	0.1토르
압력 제어 정밀도	읽기의 ±1.0% (≥10%FS);F.S. (<10%FS)의 ±0.2%
응답 시간	<1.0 S
작동 온도 범위	10℃~50℃
기계적 인터페이스	듀얼 카드 세트 1/4', VCR 1/4"양형 커넥터
밸브 유형	상폐
외부 유출	<1x10^-10(scc/sec 그는)
내루	<1.0% of 밸브구 만량정 유량(밸브가 닫혔을 때 흡기단은 25psig, 출기단은 대기)
전원 공급 장치	+15 ~ +24 VDC (<4 와트)
전기 인터페이스	DB-9핀, EtherCAT 커넥터

주의:

가스 압력 컨트롤러는 일반적으로 공장에서 질소(N₂) 을 나타냅니다.

기체 압력의 단위는 Torr(토),mbar(mbar)

표준 상태는 온도-273.15K(0℃)로 규정한다.기압 -- 101325Pa(760mmHg)

화승전자PC제품에서는 단위SCCM과"mL/min, 0°c, 1atm"이 동일하고 단위SLM과"L/min, 0℃, 1atm"이 동일하다.

F.S.(Full Scale): 전체 스레드 값;S.P.(Set Point): 좌표 입력 값 설정

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