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이메일
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
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전화
18610520676
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주소
북경경제기술개발구 경원가 13호원
제품 카테고리
북경화승전자유한공사
개요
ESC DC Power, 즉 ESC DC 전원은 정전기 카드 디스크(ESC) 전용 직류 고압 정전기 전원으로, 본 제품은 양극 출력 전원으로 양과 음 직류 전압을 동시에 제공할 수 있으며, 전용 케이블과 필터 회로를 통해 정전기 카드 디스크 직류 전극에 연결하여 정전기 카드 디스크에 흡인력을 발생시키는 직류 고압을 제공한다.
제품 정보
혁신 포인트
극성 반전, 방전 기능을 갖추다
단극/양극 출력 전압의 극성 반전 기능을 실현할 수 있습니다.자동 방전 회로가 내장되어 있어 정전기 카드판의 남은 전하를 신속하게 안전하게 방출할 수 있다.
모니터링 기능
출력 전압, 출력 전류, 입력 편압(CT)에 대한 모니터링 기능을 구현할 수 있으며, 아날로그량 또는 디지털 양의 실시간 피드백을 통해 특정 공정 요구를 충족시킬 수 있다.
출력 보호 기능
과전압 보호를 갖추고 출력 전압이 설정치의 10%를 초과할 경우 출력을 종료한다;과류 보호 기능을 통해 제어단에서 전류 제한 값을 설정하고 출력 전류가 설정 값의 10% 를 초과하면 출력을 끕니다.
응용 분야
반도체 - 집적회로
반도체 - 패키징
반도체 디스플레이
반도체 조명
기술 지표
| 모델 | BEC0402는 | BEC0301은 | BE1200 / BEC1200 |
| 전원 입력 | 24VDC, 1A | 24VDC, 2A | |
| 출력 전압 | 0~±2000Vdc (4000Vdc) | 0~±1500Vdc (3000Vdc) | 0~±6000Vdc (12000Vdc) |
| 출력 전압 정밀도 | 설정값 1000Vdc-4000Vdc 범위, 오차 1% 이내(of set point) 설정값 <1000Vdc, 실제 오차 = 설정값 ±10Vdc | 설정값 1000Vdc-3000Vdc 범위 내, 오차 1% 이내(of set point); 설정값 <1000Vdc, 오차 실제값 = 설정값 ±10Vdc; | 설정값 1000Vdc~12000Vdc 범위, 오차 1% 이내(of setpoit) |
| 출력 전류 | 0~10V: 최대 0~2mA |
| 0~10V: 최대 0~1mA |
| 출력 전압 선형 오차 | 30Vdc-4000Vdc，1% 이내 | 30Vdc-3000Vdc，1% 이내 | 1000Vdc-12000Vdc，1% 이내 |
| 통신 방식 | 수동, 25pin I/O, RS232 | ||
| CT(센터 CT) | 감지 가능/설정 가능, 0-10V:0Vdc~-2000Vdc | 감지 가능/설정 가능, 5-10V: -1000Vdc~+1000Vdc | 없음 |
| 기타 설명 | 양극 직렬 CT 설정 기능 업그레이드 | 업그레이드 기능 (1) 새로운 VR+/VR- 명령: 극성 반전 모드 허용/비활성화 (2) 새로운 SCT 명령: CT 값 설정 (3) 새로운 흐름 제한 보압 기능 | BEC1200은 양수 및 음수 기능을 모두 지원 |
| HV 대지 격리 | > 10M | ||
| 입출력 격리 | > 500M | ||
| 극성 반전 | 지원 | ||
| 방전 기능 | 지원 | ||
| 보호 메커니즘 | 과전압 보호, 과전류 보호 | ||
