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제품 카테고리
상해무석기계설비유한공사
개요
스위스 VAT 진공 밸브 59024-GE01-0003$r$n 모델 확인(VAT 명명 규칙) $r$n 코드 세그먼트 의미 $r$n59024 시리즈: 고진공 각도 밸브 $r$nGE01 플랜지 유형: ISO-KF40$r$n0003 구성 코드: 공기 흐름 실행기
제품 정보
스위스 VAT 진공 밸브 59024-GE01-0003
1. 모델 확인(VAT 명명 규칙)
| 코드 세그먼트 | 의미 |
|---|---|
| 59024 | 시리즈: 고진공 각도 밸브 |
| GE01은 | 플랜지 유형: ISO-KF40 |
| 0003 | 구성 코드: 공기 흐름 실행기 포함 |
2. 핵심 매개변수
| 매개변수 | 규격 |
|---|---|
| 진공 범위 | 10⁻⁶ ~ 1000 mbar |
| 누설율 | ≤ 1 × 10 ⁻⁹mbar·L/s(헬륨 검사) |
| 플랜지 표준 | ISO-KF40(DN40) |
| 밸브 재질 | 스테인리스 스틸 316L(EP 광택) |
| 밀봉 재료 | 불소고무(FKM)/전체 금속 밀봉 옵션 |
| 구동 방식 | 공기압 (작동 압력 4~6bar) |
| 응답 시간 | ≤ 0.5초 (켜기/끄기) |
| 온도 범위 | -20℃~150℃(표준형) |
3. 구조적 특징
초고진공 설계：
금속 파문관 밀봉(누출 제로)
밸브판은 원추면 밀봉(10⁻⁹mbar급 밀봉)
공기압 집행기：
이중 실린더 (솔레노이드 밸브 제어 필요)
기계적 위치 표시기 포함
4.일반적인 응용
반도체 장비：
웨이퍼 전송 캐비티 격리
CVD/PVD 프로세스 캐비티
과학 연구 장치：
동기 방사 빔선
입자가속기 진공시스템
5. 설치 요구 사항
플랜지 설치：
토크 제한: 10Nm(ISO-KF40 카드밴드)
무산소 구리 코일 사용(P/N: VAT-CU40)
가스 회로 연결：
구동 공기 흡입구: G1/8'(아르곤 공기 청소 권장)
6. 전기 커넥터 (솔레노이드 밸브 필요)
| 신호 | 요구 |
|---|---|
| 밸브 신호 | 24V DC(드라이브 솔레노이드) |
| 밸브 해제 신호 | 스프링 재설정 (전기 끄기 자동 밸브) |
7. 유지 보수 요점
| 프로젝트 | 주기 | 조작 |
|---|---|---|
| 씰링 교체 | 2 년 또는 10 회 순환 | 전용 고정장치 분리 필요 |
| 파문관 검사 | 1년 | 헬륨 스펙트럼 측정기 |
| 구동 실린더 윤활 | 6개월 | PFE 진공 지방 사용 |
8. 대체 모델 비교
| 브랜드 / 모델 | 차이점 |
|---|---|
| VAT 59024-GE01-0004 | 전기 실행기 버전 |
| 파이퍼 VAT 58500 | 패스스루 밸브, 유량 증가 |
| NorCal UHV-40는 | 20% 저렴한 가격에 높은 누출률 |
이 모델의 표준 납기는 8~12주이다.필요한 경우초고온도 버전(300℃)또는자기 버전 없음사용자 정의 주기를 6주 추가해야 합니다.VAT 권장52X 시리즈솔레노이드 밸브는 자동 제어를 실현한다.
스위스 VAT 진공 밸브 59024-GE01-0003
