- 이메일
- 전화
-
주소
상해시 봉현구 남교진 국순로 93호 6동
제품 카테고리
상해무석기계설비유한공사
개요
스위스 VAT 진공 게이트 밸브 패널 96603-01$r$n 기초 정보 $r$n 원래 부품 번호: 96603-01$r$n$r$n 해당 밸브 모델: VAT 96600 시리즈 고진공 게이트 밸브 $r$n$r$n 재료: 스테인리스 스틸 316L(전기 광택 EP 레벨) $r$n$r$r$r$n 표면 처리: Ra ≤0.1μm (광택)
제품 정보
스위스 VAT 진공 브레이크 밸브 플레이트 96603-01
1. 기초 정보
원 공장 부품 번호：96603-01
적용 밸브 모델: VAT 96600 시리즈 고진공 게이트 밸브
소재: 스테인리스 스틸 316L(전기 광택 EP 레벨)
표면처리: Ra ≤ 0.1 μm(미러 광택)
2. 핵심 매개변수
| 매개변수 | 규격 |
|---|---|
| 치수 | DN160(6.3') 밸브에 적합 |
| 두께 공차 | ±0.005mm |
| 평면도 | ≤0.01mm/m |
| 진공 밀봉 등급 | ≤ 1 × 10 ⁻⁹mbar·L/s (금속 밀봉 링과 함께) |
| 내열 범위 | - 270 ℃ ~ + 450 ℃ (전체 금속 밀봉 구성) |
3. 구조적 특징
양면 밀봉 설계：
기밀 표지: 원추형 금속 밀봉 (구리 또는 스테인리스강)
보조 밀봉: VITON과 같은 탄성체 밀봉 옵션®）
안내 시스템：
정밀 직선 레일(마찰 계수 <0.001)
구동 인터페이스：
표준 적합 VAT 공기압 실행기(예: 96100 시리즈)
4. 호환 밸브 모델
| VAT 밸브 시리즈 | 구체적인 모델 예 |
|---|---|
| 96600 | 96603, 96606, 96610 |
| 96800 | 96803(치수 확인 필요) |
5. 설치 및 유지 보수
설치 단계：
클린 밸브 (먼지 없는 천 + 고순도 알코올 사용)
미리 장착된 씰 코일 (전용 클램프 필요)
밸브판 삽입 후 수동으로 슬라이딩 저항 테스트(응≤5N)
토크 요구 사항：
플랜지 볼트 토크: 20~25Nm(ISO-KF160)
6. 사용 수명 지표
| 작동 조건 | 예상 수명 |
|---|---|
| 상온 고진공(<10⁻⁷mbar) | > 10⁷차 순환 |
| 고온(300℃) | 약 5 × 10 ⁶회 순환 |
| 플라즈마 환경 | 5 × 10 회마다 마모를 검사해야 한다 |
7. 마모 측정 방법
광학 검사：
백광 간섭기를 사용하여 밀폐면의 스크래치 측정 (깊이 ≤ 0.5 μm는 안전)
성능 테스트：
헬륨 질량 스펙트럼 검출 (밸브판 폐합 상태에서 ≤ 1 × 10 ⁻ ⁹ mbar·L/s)
8. 대안 비교
| 브랜드 / 모델 | 차이점 |
|---|---|
| VAT 96603-01-M | 도금 밀봉면(내부식+전도성) |
| 파이퍼 PGV 160 | 호환되지만 수행자 인터페이스 수정 필요 |
| 국산 모조품 | 원가 60% 낮음, 수명 약 40% 원공장 |
이 밸브판은 배합해야 한다VAT 229310 시리즈 씰링사용합니다.대하여반도체 장비2년 또는 10⁶회 주기마다 교체를 의무화하는 것이 좋습니다.알루미늄 질화 실리콘 코팅과 같은 사용자 정의 버전의 배송 기간은 8주 더 소요됩니다.
스위스 VAT 진공 브레이크 밸브 플레이트 96603-01
