스위스 VAT 54 시리즈 공기압 고진공 베젤 밸브

스위스 VAT 54 시리즈 공기압 고진공 베젤 밸브

1. 54 시리즈 제품 포지셔닝

• 제품 유형: 공기압 구동 고진공 베젤 밸브(Pneumatic Gate Valve)

• 핵심 기능：

• 빠른 분리 진공 캐비티 (켜기/끄기 시간 <1초)

• 반도체, 태양광, 과학 연구 장비에 적합한초고진공(UHV) 시스템

• 핵심 이점：

• 누락률이 낮음<1×10⁻⁹ mbar·L/s(메탈 씰 최대 10 ⁻¹ mbar·L/s)

• 무손실 설계, 호환부식성 기체(예: CVD 프로세스의 Cl₂, SF₆)

2. 모델 명명 규칙(VAT 54152-AA의 경우)

3. 중국 시장 상용 하위 모델 비교

4. 핵심기술매개변수

1. 真空性能：

• 누수율: 불소고무판 <1×10⁻⁹mbar·L/s, 금속밀봉판 <1×10⁻¹¹mbar·L/s

• 내압차: 표준 버전 10 ⁻⁹mbar ~ 대기압(양방향 내압 옵션)

2. 기계적 특성：

• 구동 방식: 이중 공기 흐름(0.5~0.7MPa 압축 공기 필요)

• 종료 시간: DN63 이하 ≤ 0.5초, DN200 ≤ 1.5초

• 순환 수명: > 500000회 (금속 밀폐판)

3. 재료 호환성：

• 불소고무(AA): 낮은 비용, 플라즈마 불내성

• 금속 밀봉(MM): 내부식, 고온에 강하며 가격은 30~50% 높음

• 밸브 재질: 316L 스테인리스 스틸(전기 분해 광택 EP 레벨 옵션)

• 밀봉 옵션:

5. 선택 핵심 단계

1. 지름 결정: 파이프 흐름에 따라 DN40/DN63/DN160/DN200 선택

2. 밀봉 선택：

• 일반 공정: 불소고무(AA)

• 부식/이온 주입: 금속 밀봉(MM)

3. 플랜지 일치：

• ISO-K 플랜지: 큰 흐름(예: 도금 장치)

• CF 플랜지: 초고진공(예: 반도체 캐비티)

4. 특수 수요：

• 부식성 가스: 옵션니켈도금 밸브또는하스 합금 밀봉

• 고온 환경: 금속 밀봉 + 고온 솔레노이드(예: Festo MS6 시리즈)

6. 설치 및 유지 보수 요점

• 설치 규범：

• 밸브는 수평 또는 수직으로 설치해야 합니다 (기울기 방지).

• 플랜지 볼트는 대각선 순서로 조여야 합니다 (토크는 VAT 설명서 참조).

• 유지 보수 권장 사항：

• 6개월마다 밀폐면 마모 검사 (금속 밀봉판은 정기적으로 연마할 수 있음)

• 불소고무 밀봉 코일은 대기를 노출한 후 12시간 동안 가만히 있다가 진공을 뽑아야 한다

7. 일반적인 고장처리

8. 중국 시장의 대안

1. 국산 대체：

• 심양과GDC 시리즈 베젤 밸브(DN40~DN250, 누수 <5×10 ⁻⁹mbar·L/s)

2. 일본계 브랜드：

• SMC는VZH 시리즈(중저진공, 고가성)

• 납품 주기：

• 표준 모델: 4-6주

• 니켈 도금 밸브와 같은 사용자 정의 버전: 8-12주

스위스 VAT 54 시리즈 공기압 고진공 베젤 밸브