- 이메일
- 전화
-
주소
상해시 봉현구 남교진 국순로 93호 6동
제품 카테고리
상해무석기계설비유한공사
개요
스위스 VAT 진공 밸브 01034-KE01-0002$r$n 모델 확인(VAT 명명 규칙) $r$n 코드 세그먼트 의미 $r$n01034 시리즈: 소구경 고진공 각도 밸브 $r$nKE01 플랜지 유형: ISO-KF16(DN16) $r$n0002 구성 코드: 공기 흐름 실행기 + 위치 센서
제품 정보
스위스 VAT 진공밸브 01034-KE01-0002
1. 모델 확인(VAT 명명 규칙)
| 코드 세그먼트 | 의미 |
|---|---|
| 01034 | 시리즈: 소구경 고진공 각도 밸브 |
| KE01 | 플랜지 유형: ISO-KF16(DN16) |
| 0002 | 구성 코드: 에어 액츄에이터 + 위치 센서 포함 |
2. 핵심 매개변수
| 매개변수 | 규격 |
|---|---|
| 진공 범위 | 10⁻⁹ ~ 1000 mbar |
| 누설율 | ≤ 1 × 10 ⁻⁹mbar·L/s(금속 밀봉) |
| 밸브 재질 | 스테인리스 스틸 316L(EP 광택) |
| 밀봉 옵션 | 전체 금속 밀봉 / FFKM 탄성체 |
| 구동 방식 | 공기압 이중화 (4~6bar) |
| 응답 시간 | ≤ 0.3초 (켜기/끄기) |
| 온도 범위 | -200℃~250℃(표준형) |
3. 구조적 특징
제로 누설 설계：
금속 파문관 전동(동적 밀봉 누출 위험 없음)
테이퍼 밸브 받침대 밀봉(10⁻⁹mbar급 밀봉)
지능형 피드백：
내장형 마그네틱 위치 센서(PNP 출력)
LED 상태 표시등(빨간색/녹색 2색)
4.일반적인 응용
분석 기구：
질량 분광기 샘플링 시스템 격리
전자현미경 샘플실
반도체：
웨이퍼 전송 모듈(EFEM)
부식 설비 가스 통로 제어
5. 설치 사양
플랜지 연결：
토크 제한: 5Nm(ISO-KF16 카드밴드)
씰링: 무산소 구리 개스킷(P/N: VAT-CU16)
가스 요구사항：
구동 가스: 질소 또는 아르곤 가스 (순도 ≥ 99.999%)
파이프라인 필터: 0.1μm 필터
6. 전기 커넥터
| 단자 | 기능 |
|---|---|
| 1 (브라운) | 24V DC + |
| 2 (파란색) | 0V |
| 3 (블랙) | 밸브 신호(PNP) |
| 4 (흰색) | 밸브 끄기 신호(PNP) |
7. 유지 보수 주기
| 프로젝트 | 조작 | 주기 |
|---|---|---|
| 밀봉면 검사 | 백광 간섭기 검사 | 1년 / 10회 순환 |
| 파문관 수명 | 헬륨 누출 검사 테스트 | 5년 또는 10회 주기 |
| 위치 센서 조정 | 밸브 피드백 조정 | 2년 |
8. 문제 해결
| 코드 | 의미 | 처리 시나리오 |
|---|---|---|
| E01은 | 센서 신호 분실 | 자기 결합 정렬 확인 |
| E03은 | 기압 부족 | 구동 압력 확인≥4bar |
| E05 | 초온 경보 | 환경 온도가 기준치를 초과했는지 검사하다. |
9. 대안
| 브랜드 / 모델 | 차이점 |
|---|---|
| VAT 01034-KE01-0001 | 위치 센서 없음 |
| 파이퍼 EVR 116 | 응답이 느린 전기 실행기 |
| NorCal UHV-16는 | 25% 저렴한 가격에 높은 누출률 |
이 모델의 표준 납기는 12주이다.필요한 경우초고진공 버전(10⁻¹¹mbar)또는자기 버전 없음사용자 정의 주기를 6주 추가해야 합니다.VAT 권장52X 시리즈솔레노이드 밸브는 자동 제어를 실현한다.
스위스 VAT 진공밸브 01034-KE01-0002
