스위스 VAT 진공 밸브 47 시리즈

스위스 VAT 진공 밸브 47 시리즈

다음은 정보스위스 VAT 47 시리즈 고진공 각도 밸브모델 분류, 기술 특징, 모델 선택 가이드 및 중국 시장 어플리케이션에 대한 상세한 기술 해석:

1. VAT 47 시리즈 제품 포지셔닝

• 제품 유형: 공기압 구동 고진공 각도 밸브(Angle Valve)

• 핵심 용도：

• 진공강체의 격리와 통기 제어

• 반도체, 태양광, 진공도금, 과학연구설비 등 초고진공(UHV) 장면에 적용

• 핵심 인증：

• SEMI 준수, 누수 <1 × 10 ⁻⁹mbar·L/s

• 재료 호환성: 316L 스테인리스 스틸, 불소 고무(FKM) 또는 전체 금속 밀봉

2. 모델 명명 규칙(VAT 47152-AA의 경우)

3. 중국 시장 상용 하위 모델 비교

4. 핵심기술매개변수

1. 真空性能：

• 누수율: 불소고무판 <1×10⁻⁹mbar·L/s, 금속밀봉판 <1×10⁻¹¹mbar·L/s

• 내압차: 표준 버전 1 × 10 ⁻⁹mbar ~ 대기압(금속 밀봉 버전 최대 10 ⁻¹²mbar)

2. 기계적 특성：

• 구동 방식: 단일 / 이중 공기 흐름(0.4~0.6MPa 압축 공기 필요)

• 개폐 시간: < 1초 (DN40 이하 사양)

• 순환 수명: > 100만 회 (금속 밀폐판 > 50만 회)

3. 환경 적응성：

• 불소고무판 내용제성: 아세톤, 알코올 겸용(강산 불호환)

• 금속재질 밀봉판 구이 온도: 최대 250°C(고온 솔레노이드 밸브 옵션 필요)

5. 선택 핵심 단계

1. 지름 결정: 파이프 크기에 따라 DN16/DN40/DN63/DN160 등 선택

2. 밀봉 선택：

• 불소고무(AA): 일반 진공에 적합한 저렴한 비용(≤10 ⁹mbar)

• 금속 밀봉(MM): 초고진공(≤10⁻¹mbar), 고온 내구성

3. 플랜지 일치：

• CF 플랜지: 초고진공 표준(반도체 산업)

• ISO-K 플랜지: 도금 장치와 같은 대량 트래픽 어플리케이션

4. 제어 구성：

• 단일 기능 (스프링 재설정): 전원 끄기 자동 끄기

• 이중 기능: 더 빠른 응답을 위한 양방향 공기 제어 필요

6. 설치 및 유지 보수 요점

• 설치 규범：

• 밸브 화살표 방향은 기류 방향과 일치해야 한다

• 플랜지 볼트는 대각선으로 조여야 합니다 (토크는 VAT 기술 안내서 참조).

• 유지 보수 권장 사항：

• 불소고무 코일 2년마다 교체(잦은 사용 상황)

• 금속 밀봉 밸브는 5년마다 헬륨 스펙트럼을 만들어 누출을 검사한다

7. 일반적인 고장처리

8. 중국 시장의 대안

1. 국산 대체：

• 북경 중과 의ZK 시리즈 각도 밸브(DN16∼DN200, 출루율 <5×10 ⁻⁹mbar·L/s)

2. 일본계 브랜드：

• SMC는VXH 시리즈(중저 진공에 적합, 높은 성비 적용)

• 납품 주기: 일반 모델 재고 2-4주, 맞춤형 밸브 8-12주 소요

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