스위스 VAT 590 시리즈 전기 고진 에어컨 밸브

스위스 VAT 590 시리즈 전기 고진 에어컨 밸브

1. 590 시리즈 제품 포지셔닝

• 제품 유형: 전기 구동 고진 에어컨 밸브(Proportional Control Valve)

• 핵심 기능：

• 정밀 압력 조절(10⁻~ 10⁻⁹mbar 범위)

• 동적 흐름 제어(CVD, PVD, 부식 등의 공정용)

• 핵심 이점：

• 해상도 최대0.1% 풀 스케일, 응답 시간 <50ms

• 전금속 밀봉(누출률 <1×10⁻¹¹mbar·L/s)

• 지원아날로그(0-10V/4-20mA)및디지털 커뮤니케이션(RS485/Profibus)통제

2. 모델 명명 규칙(VAT 590.12-AA의 경우)

3. 중국 시장 상용 하위 모델 비교

4. 핵심기술매개변수

1. 성능 튜닝：

• 선형도: ±0.5% 풀 스케일

• 반복 정밀도：±0.2%

• 유량 계수(Cv)：0.02（DN25）~0.15（DN63）

2. 전기 특성：

• 전원 전압: 24V DC ±10%

• 전력 소비량: <15W(대기 <5W)

• 위치 피드백: 0-10V 또는 SSI 절대값 인코더(옵션)

3. 환경 적응성：

• 불소고무 밀봉: -20°C ~ +150°C

• 금속 밀봉: -200°C~+250°C(구이 공정)

• 온도 범위:

• 내부식성: Cl₂, NF등 공정가스와 호환 (니켈도금 밸브 선택 필요)

5. 선택 핵심 단계

1. 지름 결정：

• 트래픽 요구사항에 따라 DN25/DN40/DN63 선택

• 계산 공식:$𝑄={𝐶}_{𝑣}\cdot \sqrt{\mathrm{\Delta }𝑃\cdot 𝜌}$
  (Q: 유량, P: 압차, ρ: 가스 밀도)

2. 제어 모드 선택：

• 아날로그 제어: PLC 직접 제어용

• 디지털 통신: 지능형 진공 관리 시스템에 통합

3. 밀봉 재질：

• 불소고무(AA): 일반 진공에 적합한 저렴한 비용(≤10 ⁻⁹mbar)

• 금속 밀봉(MM): 초고진공(≤10⁻¹mbar), 내플라즈마

4. 특수 옵션：

• 가열 버전: 가스 응축 방지(예: SiH ₄ 공정)

• ATEX 방폭 인증: 위험한 환경에서 사용

6. 설치 및 디버깅 요점

• 기계적 설치：

• 밸브 방향은 공기 흐름과 일치해야 합니다 (화살표 표시)

• 진동 방지 소스 (충격 흡수 브래킷 권장)

• 전기 연결：

• 차폐 케이블 경로설정 (전자 간섭 방지)

• 접지 저항 <1º

• 매개변수 교정：

1. HMI 또는 소프트웨어를 통한 0비트 설정(0% 개도)

2. 정격 전체 거리 (100% 개도는 10V/20mA에 해당)

3. 테스트 단계 응답 (목표: 초과 조정량 <5%)

7. 일반적인 고장처리

스위스 VAT 590 시리즈 전기 고진 에어컨 밸브