탄화규소 SiC 장결정 설비

탄화규소 SiC 장결정 설비

고품질 구현SiC는결정 성장, 순도 높은 원료 합성, 고온 결정 열처리 전문 설비.광범위한 용도SiC는결정 성장, 원료 합성, 결정 열처리 분야.6 / 8인치의 결정 주괴가 자랄 수 있다.

탄화규소 SiC 장결정 설비

진공로 캐비티 시스템은 본 바닥의 진공 값이 ≤5.0E-5Pa에 도달하는 것을 비교적 제한하며, 승압률은 ≤3Pa/12h이며, 결정 성장의 안정성을 보장한다

.지능화 성장 및 모니터링 시스템, 다양한 제조 공정의 정확한 사용자 정의, 공정 최적화, 긴 결정 전 과정의 실시간 모니터링, 데이터 시각화 아카이빙

.신형 감응 가열 코일 설계로 열장 가열의 균일성과 안정성을 효과적으로 높인다
.업계 1st가 만든 PIM 자체 검사 시스템, 효과적인 감면제조 시간 낭비
.안정적이고 신뢰할 수 있는 수냉 시스템으로 수로를 실현하였다관로 온도, 유량의 실시간 모니터링으로 생장실 온도장의 안정성을 확보하였다.
. 6인치 P급 탄화규소 라이닝, 마이크로파이프 생산 가능결함 밀도 <0.5개/cm², 저항률 0.015-0.0280