원자층 퇴적 시스템 도금기

원자층 퇴적 시스템 도금기

설계 철학

SE series는 Thermal-ALD, PEALD, 및 ALA 등의 * 프로그래밍을 수행할 수 있습니다.

2.SE series는 높은 개조 탄성을 가지고 있지만, 그 성능과 안정성은 이로 인해 희생되지 않는다.

3.원자층 퇴적 시스템 설계 편리하고 안정적이며 재현성이 높은 제품 포지셔닝.

디자인 특징

1.모듈식 전구물 도입 시스템은 최대 4조의 전구물을 쉽게 유지, 수리 및 확충할 수 있으며, 저증기압 전구물을 사용할 수 있다;분류는 파이프 막힘과 분진 문제를 피한다

2.낮은 유출율 특수 설계, 낮은 용량의 오염원이 제조 결과에 영향을 미치는 것을 제거 할 수 있습니다

3.현행 대부분의 재료 제조 요구 사항 충족: Oxide or nitride of Al, Si, Ti, Zr, Hf, etc..Metal(TBD) 4.단일 시스템 너비 54cm 내, 실험실 친화적 크기

5. 특수 펄프 소스 설계(Remote plasma)로 GPC 6% 향상(ICP 대비)

6. 특수 흡기 설계 개선 균일성(U%<2%) 사각지대 잔류 문제에 대한 특수 설계

원자층 퇴적 시스템 도금기