반자동 웨이퍼 결합기

SUME BW510은 연구 개발 또는 소량 생산에 사용되는 반자동 웨이퍼 키조합기로, 양호한 압력과 온도 균일성이 비교적 특별한 구조 설계를 갖추어 키조합의 프레스 상대 수준을 보장하고, 우수한 진공 시스템 및 캐비티 설계, 편리하고 간결한 메뉴 편집과 설비 상태 모니터링 및 안전 보호 기능을 갖추고 있다.SUMEBW510은 대부분의 원형 크기와 호환될 수 있으며, 개방형 캐비티 디자인은 유지보수가 용이하고 서로 다른 규격의 전환으로 대지 면적이 작으며 기능이 완비되어 있다.

반자동 웨이퍼 결합기

장치 이점:
고진공 결합 챔버;더 빠른 가열과 진공 흡입, 생산 능력 증가;

단일 칩에서 200mm 제품까지 가능합니다.

실험과 생산을 겸용하다.
프로그램 자동 실행;
더 나은 비용 관리

SUMEBW510은 고도로 유연한 키조합 설비로 단일 칩에서 200mm 웨이퍼 사이즈까지 처리할 수 있다. 설비는 흔히 볼 수 있는 웨이퍼 결합 공정을 지원한다. 예를 들어 공정 키조합, 금속 키조합, 접착제 키조합, 직접 키조합 등 다양한 공정 수요, 사용하기 편리한 키조합 강체 설계, 빠른 교체가 가능하고 다른 사이즈 공정을 재가공예를 들어 시간이 5min보다 적으며 실험실, 연구원 또는 회사의 대량 생산에 매우 적합하다.

반자동 웨이퍼 결합기