플라즈마 강화 화학 기상 퇴적 (PECVD) 시스템

1. 유연한 퇴적 능력

·실리콘 기반 퇴적 공정-산화물, 질소화물, 산소질소화물, 비실리콘(a-Si), 그리고탄화규소(SiC는）

·연구 및 개발

·원형 제작

·소량 생산 -광자학,솔리드 스테이트 조명、MEMS는나노 기술

·응용 분야: 층간 절연층, 둔화층, 패키지층, 마스크층, 반사방지층

2. 성능 가치

1.대형 수동 적재대(406mm)

2. 뛰어난 청결도

3.높음균일성

4.높은 처리량

5. 신뢰할 수 있는 소프트웨어

6.컴팩트한 설치 공간

7.비용 효율성

8.손쉬운 서비스

9.업계 최고 수준의 구성 요소 사용

3. 검증된 솔루션

· 이어졌다PTI 790/790+는설계 개념

o로드 잠금 없이 수동으로 마운트 (로트 또는 단일 웨이퍼 지원 가능)

o초과 설치됨400시스템 세트

o단순하고 견고한 구성 가격 경쟁력이 있고 품질이 믿을 만하다

공간 절약형 컴팩트한 설치 공간