커패시터식 변위 센서 프로브

용량 센서란 무엇입니까?

커패시터 센서는 두 평행판 사이의 선형 변위를 측정하여 작동하는 장치로, 한 판은 센서 자체이고, 다른 한 판은 센서가 측정하는 물체, 즉 목표물이다.

전형적인 용량 감지 시스템

- "센서 프로브"라고도 불리는 커패시터 프로브는 금속 또는 세라믹 케이스로 내부에 대상 물체를 감지하기 위한 커패시터 센서가 장착되어 있습니다.
- 측정 회로 기판이라고도 하는 측정 모듈은 센서의 구동 전자 부품을 포함하고 센서의 아날로그 출력 신호를 제공합니다.
- 보드 출력을 측정하는 아날로그 신호는 일반적으로 고객 컴퓨터의 A/D(모델) 변환 카드에 연결됩니다.

센서 구조

차폐 고리 (전극 보호) 가 없으면 전장선이 센서 밖으로 확장되어 다른 접지 표면 또는 전장과 상호 작용할 수 있습니다.차폐 고리의 전장을 센서와 동일하게 구동함으로써 센서는 필요한 목표와만 전장을 형성할 수 있다.

능동식 및 수동식 용량 센서

- 대부분의 어플리케이션에서 수동 센서를 사용할 수 있습니다.그 프로브 내부에는 구동 전자 부품이 없기 때문에 뛰어난 안정성과 선형도를 가지고 있다.

- 액티브 센서는 프로브 내에 고해상도와 높은 측정 대역폭을 필요로 하는 "고동적" 어플리케이션을 위해 설계된 특수 구동 회로를 포함합니다.

수동식 커패시터 프로브

능동식 커패시터 프로브

프로브 사용자 정의

프로브는 다양한 방법으로 사용자 정의 가능
- 고객의 요구에 따라 프로브 크기 또는 모양 사용자 정의
- 경사 컷이 있는 프로브 전면
- 클립이 아닌 통공 장착 프로브
- 고안정성 옵션 - 4810형 고안정성 측정기 옵션과 함께 사용 가능

특수 용도 프로브

-세라믹 프로브는 안정성이 높은 응용 장소에 적합하다
- 수동 프로브 설계에서 인와합금(Invar)을 사용하여 열 안정성 향상
- 웨이퍼 접지 불량 응용 시나리오에 대해 "보상" 가능한 프로브 옵션 제공