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개요
파이렐린 진공 도금기 Parylene 도금 시스템은 실험실 응용을 위한 최적화 설계로 내장된 플라즈마 소스를 갖추고 있어 재료 표면 사전 처리에 사용할 수 있으며 필름 기반 결합 성능을 효과적으로 향상시킬 수 있다.파이렐린 도금막(Parylene)은 화학기상침적(CVD) 공정을 통해 형성된 초박형 폴리머 보호층으로 분자급 균일 피복, 화학적 타성, 우수한 개전성능 및 생체 상용성 등의 특징을 가지고 있다.
제품 정보
패럴린 진공 도금기 Parylene 도금 시스템실험실 응용을 위한 최적화 설계, 내장 플라즈마 소스를 장착하여 재료 표면 사전 처리에 사용할 수 있으며, 필름 기반 결합 성능을 효과적으로 향상시킬 수 있다.파이렐린 도금막(Parylene)은 화학기상침적(CVD) 공정을 통해 형성된 초박형 폴리머 보호층으로 분자급 균일 피복, 화학적 타성, 우수한 개전성능 및 생체 상용성 등의 특징을 가지고 있다.
이 모델의패럴린 진공 도금기 Parylene 도금 시스템다음과 같은 특징이 있습니다.
1. 이 모델Parylene 도금 시스템과학 연구 실험실뿐만 아니라 생산 환경에도 사용할 수 있다;
2. 특히 중소기업과 연구개발팀의 수요에 맞추어 기능을 최적화한다;
3. 다양한 옵션 구성 요소를 배치함으로써 설비의 적용성과 유연성을 한층 더 향상시키고, 그 공예 챔버의 용적은 수요에 따라 조정할 수 있으며, 최소 용적은 251L에 달한다;
4. 설비표준배치에는 플라즈마처리모듈이 포함된다.
5. 클린룸 전용 버전을 선택할 수 있도록 제공한다;
Parylene 코팅의 일반적인 용도:
모터 보호: 마이크로 모터 권선, 베어링의 부식 방지와 윤활 유지, 소금 안개 수명 10배 향상
반도체 패키지: 칩급 방습, MEMS 부품 3차원 구조 보호 및 웨이퍼 임시 도금
LED 조명: 광 추출 효율, 발열 성능 및 내후성 향상, 수명 7만 시간으로 연장
자동차 전자: ECU 모듈 보호, -40~150 ℃ 의 온도 파동 및 소금 안개 환경 견딜 수 있다
Labcoater Series 300 파이렐린 진공 도금 장비:
| 치수 |
L: 1220mm W: 1050mm H: 1920mm |
| 무게 | 110kg의 |
| 캐비티 용량 | 25/35/40/80L |
| 공예 강체 |
300mm Ø, H: 300mm (25 리터) 300mm Ø, H: 350mm (35 리터) 450mm Ø, H: 500mm (80 리터) |
| 플라즈마 소스 |
2.45GHz, 600 W |
| 가스 회로 |
1번 가스 채널 (공정 챔버에 내장된 가스 분배 시스템) 은 최대 3번 가스 채널까지 확장할 수 있다. |
| 냉각 시스템 |
4L(기계식 냉각 함정) |
| 진공 시스템 |
DIN 40 ISO-KF |
| 배기 |
전자식 배기 밸브 |
| 진공 펌프 |
스핀들 속도 50m³/h |
| 전기 연결 |
3상 5선제, AC 50Hz, 전압 400V/240V, 최대 전력 소비 8.5kW |
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