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접촉각 기구

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개요

웨이퍼 접촉각 기기는 반도체 웨이퍼 표면의 윤습성을 평가하는 데 전용되는 정밀기기로, 가스-액-고 3상 경계에서 형성된 접촉각(×)을 측정해 표면 성능을 계량화한다.

제품 정보

서핑보드 HL200

직경 8인치 웨이퍼용 접촉각 측정기

接触角仪器

웨이퍼접촉각 기구반도체 웨이퍼 표면의 윤습성을 평가하기 위한 정밀기기로, 가스-액-고 3상 경계에서 형성된 접촉각(×)을 측정해 표면 성능을 계량화한다.

물리적 배경

포토레지스트와 현상제와 같은 광각 재료의 표면 장력은 광각 공정 자체에 중대한 잠재적 영향을 미친다.예를 들어, 코팅 코팅의 균일성, 플랫 및 부착력은 관련된 재료의 표면 장력 특성에 직접 의존합니다.이와 마찬가지로 코팅된 표면 자유 에너지 (SFE) 도 성능에 큰 영향을 미칩니다.

반도체 기술 중 기판 및 기능층의 표면자유에너지(SFE)는 접촉각 측정 기술을 통해 체계적으로 연구할 수 있다.접촉각을 정확하게 측정하여 새 프로세스 단계를 빠르게 최적화하고 알려진 프로세스를 더 잘 표준화할 수 있습니다.

웨이퍼 표면 특성의 미세한 변화는 접촉각 측정 결과에서 현저하고 쉽게 측정할 수 있는 변화로 나타나 공정 개선에 명확한 지침을 제공한다.소량의 시간을 투입하여 접촉각 측정을 진행하면 후속 생산 단계에서의 잠재적인 문제를 효과적으로 피할 수 있고 나아가 현저한 경제 효익을 가져올 수 있다.포토레지스트 구조의 결함 밀도를 낮추고 1마이크로미터 미만의 특징 크기 제어를 실현하기 위해서는 포토레지스트와 기저 사이의 좋은 부착력을 확보하는 것이 중요하다.접촉각 측정 기술을 통해 부착력을 쉽고 효율적으로 제어할 수 있습니다.

서프텐스 HL 200웨이퍼접촉각 기구의 특성

SURFTENS HL 200 접촉각 측정 시스템은 반도체 산업 및 과학 연구 분야를 위해 특별히 개발되었으며 특히 실리콘 표면 처리 과정에서의 공정 제어에 적용됩니다.이는 규소조각의 접촉각과 윤습성을 분석하는 리상적인 도구로서 규소조각의 윤습성에 대해 신속하고 고정밀하며 편리하게 측정하는 수요를 능률적으로 만족시킬수 있다.

서프텐스 HL 200웨이퍼 접촉각 측정기다음과 같은 특성이 있습니다.

- 공간 절약형 컴팩트형 설계, 폐쇄형 기계 인프라

- 측정 정밀도를 보장하기 위해 고정 초점 거리를 지원하는 고품질 측정 물체 거울을 장착합니다.

- 고해상도 이미지 수집을 위한 USB 인터페이스 카메라 내장;

- 모든 핵심 구성 요소가 닫힌 케이스에 통합되어 외부 간섭으로 인한 착오를 효과적으로 방지합니다.

- 균일하고 밝기를 조절할 수 있는 LED 조명 시스템을 제공하여 측정 환경의 일관성과 안정성을 확보합니다.

- 웨이퍼 지름 200mm, 표면에 테플론 코팅을 도금하여 내식성과 오염 방지 성능을 강화한다;

- X축과 회전방향(모두)에서 웨이퍼의 수동 정밀 조정 및 위치 지정을 지원합니다.

- 실리콘 조각의 접촉각 분포를 빠르게 매핑하기 위한 특수 작업대 구조;

- 진공 핀셋을 통해 웨이퍼를 안전하게 배치할 수 있습니다.

- 웨이퍼는 100mm 여정 범위 및 360° 전 각도 회전 기능을 갖추어 다양한 측정 수요를 만족시킨다.

- 측정 결과가 프로토콜 문서와 비디오 이미지에 동시에 표시되어 다양한 차원의 분석을 용이하게 합니다.

- 필요한 경우 Wu/OWRK 이론에 따라 표면 자유 에너지를 계산할 수 있습니다.

이 구조 설계는 웨이퍼 표면의 임의의 점에 대한 정확한 측정을 실현할 수 있다.

웨이퍼의 수동 X축과축은 모두 정밀한 눈금을 갖추고 있어 목표 위치까지 정확하게 위치를 정할 수 있다.

적액 시스템 조정 기능은 다음과 같습니다.

- 수동 Z축: 핀의 높이 위치를 조정하는 데 사용합니다.

- 수동 Y축: 핀 중심 위치 보정

- 수동 X축: 핀의 초점 위치를 미세하게 조정합니다.

적액 시스템의 구성 가능한 시나리오는 다음과 같습니다.

- 단일 수동 다이렉트 드롭 시스템 구성;

- 수동 다이렉트 드롭 시스템 2개 구성;

- 단일 자동 소프트웨어 제어 다이렉트 드롭 시스템 구성;

- 두 개의 자동 소프트웨어로 제어되는 직접 드롭 시스템을 구성합니다.

- 수동 다이렉트 드롭 시스템과 자동 소프트웨어로 제어되는 다이렉트 드롭 시스템을 조합합니다.

고정밀 자동 측정 기능

테스트 액체 방울 (일반적으로 이온 제거 물) 은 수동 또는 자동 직접 적액 시스템에 의해 생성됩니다.액체 방울 이미지는 고품질의 실시간 비디오 화면으로 컴퓨터 화면에 즉시 표시됩니다.단일 키 조작을 통해 측정 프로세스를 시작할 수 있으며, 소프트웨어는 접촉각을 빠르게 계산하고 결과를 그래픽화하는 동시에 상세한 데이터 정보를 제공할 수 있다.한 방울당 측정 시간은 1초에 불과해 오차 가능성을 현저히 줄인다.SURFTENS HL 200은 높은 반복성과 측정 정밀도를 보장하는 동시에 간편한 운영 환경을 제공합니다.

측정 소프트웨어

측정 소프트웨어 SURFTENS는 다양한 액체 방울 모양 시뮬레이션 알고리즘을 기반으로 현적 접촉 각도에 대한 전자동 정밀 측정을 실현할 수 있다.액체 방울은 영상 처리 기술을 통해 자동 식별과 검측을 실현할 수 있다.낮은 명암비 조건에서 소프트웨어는 수동으로 베이스라인을 설정하고 모니터에 측정 지점을 지정하여 전체 수동 접촉각 측정을 지원하는 등 다양한 보조 액체 방울 감지 기능을 제공합니다.서비스 범위는 다음과 같은 추가 측정 기능 및 서비스 옵션으로 인해 더욱 확장됩니다.

- 실시간 비디오 이미지에서 현재 접촉 각도의 수치를 동적으로 표시합니다.

- 시간에 따라 변화하는 접촉 각도를 자동으로 측정하고 측정 결과를 그래프로 표시합니다 (순환 시간은 초당 50회까지 자유롭게 선택 가능).

- 실시간 비디오 이미지를 기반으로 전진 접촉각 및 후진 접촉각 측정

- 왼쪽과 오른쪽의 접촉각을 동시에 측정합니다.

- 분배 과정 및 적출 배치 완료 후 적출 부피 정밀 검사

이 소프트웨어에는 최대 5가지 측정 액체의 접촉각 데이터를 통해 고체의 표면 자유 에너지를 계산할 수 있는 OWRK/Wu 이론에 기반한 평가 모듈이 내장되어 있다.

라이브 비디오 스트림에서 AVI 파일을 추출하는 기능은 매우 실용적입니다.그런 다음 모든 측정 및 문서 기능이 전체 비디오 또는 비디오의 개별 이미지에 적용됩니다.

측정 결과는 기록이나 비디오 이미지에 쉽게 저장할 수 있습니다.

接触角仪器