KLA 쿼드 프로브 저항률 측정기

KLA 쿼드 프로브 저항률 측정기KLA의 저항률 측정 제품입니다.반도체 제조부터 웨어러블 기술 구현에 필요한 플렉시블 전자 제품에 이르기까지 박막 저항 모니터링은 전도성 박막을 사용하는 모든 산업에 상당히 중요하다.KLA R54 쿼드 프로브 저항률 측정기는 금속 박막 균일성 측정, 이온 주입 표징 및 퇴화 특성, 박막 두께 및 저항률 측정 및 비접촉식 박막 두께 측정에 기능적으로 최적화되었습니다.

이점:

• 사각형, 선형, 극좌표 및 사용자 구성을 포함한 테스트 포인트 사용자 정의 편집

• 최대 300mm 원형 또는 A4(210mm*297mm) 샘플을 수용할 수 있는 옵션

• 도체와 반도체 박막 저항, 10개 수량급 범위 적용

• 쿼드 프로브(4PP) 또는 비접촉 와류(EC) 모드 구성 가능

• 광 민감성 또는 환경 민감성 샘플을 쉽게 측정할 수 있는 시스템 폐쇄

• 최대 샘플 높이 15mm 지원

• 고정밀 X-Y 플랫폼

• 작은 EC 프로브 크기

• 자동 EC 프로브 높이 오차 보정

• KLA 박막 저항 측정 프로브와 호환;

측정 원리:

4점 프로브 (4PP) 는 4개의 전도성 프로브로 구성된 프로브가 제어력으로 전도층 표면에 접촉하는데, 그 중 측정된 전도층과 라이닝 사이에 비전도성 저항층이 있다.표준 측정의 프로브 구성은 두 외부 프로브 사이에 전류를 가하고 두 내부 프로브 사이에 전압을 측정하는 것입니다.박막 저항을 측정할 때 전도층의 두께는 두 탐침 사이의 거리의 1/2보다 작아야 한다.KLA는 R54 쿼드 프로브 저항률 측정기에 간격 프로브의 전압을 측정할 수 있도록 하는 듀얼 모드 기술을 개발했으며, 경계 효과 동적 보정 및 프로브 간격 오차 보상 기능을 배치했다.KLA는 다양한 표면 재료의 특성 표징 측정을 적용 및 최적화하기 위해 다양한 프로브 유형을 제공하며 거의 모든 전도성 필름 또는 이온 주입 층에 사용할 수 있습니다.

전기 와류(EC)는 비접촉식 전도성 박막 측정 기술이다.코일을 통해 시변 전류를 가하여 시변 자기장을 생성하고, 이 자기장이 전도성 표면에 접근할 때 이 표면에서 감응 시변 전류 (와류) 를 생성한다.이러한 와류는 반대로 그들 자신의 시변 자기장을 생성하는데, 이 자기장은 탐침 코일과 결합하여 샘플의 저항에 비례하는 신호 변화를 일으킨다.KLA의 특수한 EC 기술은 단일 프로브가 샘플 상단에 위치하여 측정의 정확성과 반복성에 상당히 중요한 각 측정 지점의 프로브 높이를 동적으로 조정할 수 있습니다.EC 법은 프로브 크기 또는 표면 산화의 영향을 받지 않으며 4PP 접촉법 측정에 적합하지 않은 소프트 또는 기타 샘플에 적합합니다.

업계 어플리케이션:

제품 적용:

1. 금속박막의 균일성

금속박막의 박막저항균일성은 소자의 성능을 확보하는데 상당히 중요하며 대다수 금속박막은 4PP와 EC를 통해 측정할수 있다.EC는 비교적 두꺼운 고전도 금속막에 사용할 것을 추천하며, 4PP는 비교적 얇은 금속막(> 10º/sq)에 적용되지만, 어쨌든 4PP/EC는 높은 관련성을 나타내기 때문에 어떤 방법을 사용하든 정확한 결과를 얻을 수 있다.KLA R54 쿼드 프로브 저항률 측정기 저항 분포도는 박막의 균일성, 퇴적 품질 및 기타 공정 파동을 나타낼 수 있다.

2. 이온 주입 표징

4PP법은 이온 주입 공정을 측정하는 표준 측정 기술이다.열 퇴화 후 이온 주입 분포 테스트를 통해 램프 고장, 웨이퍼/플랫폼 접촉 불량 또는 주입 용량 변화로 인한 핫스팟과 냉각점을 식별할 수 있다.실리콘 이온 주입층에 대해 열퇴화 작업은 혼합 이온을 활성화하는 데 필요하다.

3. 박막 두께/저항률/박막 저항

수집된 웨이퍼 데이터를 통해 KLA R54 쿼드 프로브 저항률 측정기는 박막 저항, 박막 두께 또는 저항률 분포도를 그릴 수 있다.재료의 저항률을 입력하여 막의 두께 분포를 계산하고 표시할 수 있다;또는 필름 두께 데이터를 입력하여 저항률 분포를 계산할 수 있습니다.

4. 데이터 수집과 시각화

KLA R54 쿼드 프로브 저항률 측정기의 RSMapper 소프트웨어는 데이터 수집과 분석 기능을 결합해 기기 자체에 사용할 수도 있고 오프라인에서도 사용할 수 있는 직관적인 시각화 인터페이스를 갖추고 있다.소프트웨어에 내장된 다양한 좌표 레이아웃 도구를 사용하여 데이터 측정 지점을 쉽게 설정할 수 있습니다.

제품 매개 변수:

KLA 쿼드 프로브 저항률 측정기측정 그래프: