Filmetrics 자동 측정 광학 막 두께계

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개요

Filmetrics 자동 측정 광학 필름 두께 측정기는 F54-XYT-300의 스펙트럼 반사 시스템을 사용하여 200 x 200mm 샘플의 필름 두께를 빠르고 쉽게 측정 할 수 있습니다.전동 XY 작업대는 자동으로 선택한 측정 지점으로 이동하여 초당 2 시의 빠른 두께 측정을 제공합니다.

제품 정보

Filmetrics 자동 측정 광학 막 두께계소개:

Filmetrics F54-XYT-300 자동 측정 광학 필름 두께계는 F54-XYT-300의 스펙트럼 반사 시스템을 사용하여 200 x 200mm 샘플의 필름 두께를 빠르고 쉽게 측정할 수 있습니다.전동 XY 작업대는 자동으로 선택한 측정 지점으로 이동하여 초당 2 시의 빠른 두께 측정을 제공합니다.

특징 이점:

박막 두께 드로잉 시스템을 자동화하여 신속하게 위치를 정하고 실시간으로 결과를 얻습니다.
측정 가능한 샘플 막층: 기본적으로 매끄럽습니다.비금속의 박막은 모두 측정할 수 있다.
측정 결과는 2D 또는 3D로 렌더링할 수 있으므로 다양한 각도에서 쉽게 볼 수 있습니다.

측정 원리:

입사광이 서로 다른 물질의 인터페이스를 관통할 때 일부 빛이 반사되는데, 빛의 파동성으로 인해 여러 인터페이스에서 반사광이 서로 간섭하여 반사광의 다파장 스펙트럼이 진동하는 현상이 발생한다.스펙트럼의 진동 주파수에서 서로 다른 인터페이스의 거리를 판단하여 재료의 두께 (진동이 많을수록 더 큰 두께를 나타낸다) 를 얻을 수 있으며, 굴절률과 거칠음과 같은 다른 재료 특성도 얻을 수 있다.

적용 및 필름 레이어 예:

반도체 막층	디스플레이 기술	소비자 전자	파렐린
포토레지스트	OLED는	방수 코팅	전자 제품 / 회로 기판
개전층	ITO 및 TCOs	무선 주파수 인식	자성 재료
갈륨비소	에어박스 두께	태양전지	의학 기구
마이크로컴퓨터 시스템	PVD 및 CVD	알루미늄 케이스 양극막	실리콘 고무

일반적인 산업 용도:

반도체 제조	LCD 평면 패널 모니터	광학 도금층	MEMS 마이크로컴퓨터 시스템
포토레지스트	폴리아미드	하드 코팅	포토레지스트
산화물/질소화물/SOI	ITO 투명 전도막	반사 방지 코팅	규소계 막층
웨이퍼 뒷면 연마

제품 매개 변수:

파장 범위:	190nm-1700nm	광원:	텅스텐 할로겐 램프, 듀테륨 램프
nk 두께 측정 요구 사항 1*:	50nm	측정 정밀도 2:	0.02nm의
정확도 *: 큰 사람	1nm 또는 0.2%	안정성 3:	0.05nm
샘플 크기:	≤ 지름 300mm	속도 (진공 플랫폼 포함):	5 포인트. - 8 초. 25 포인트 - 21초 56점 - 43초

반점 크기	표준 500마이크로미터 공경	250 마이크로미터 구경 옵션	100 마이크로미터 구경 옵션
5X 대물렌즈	100μm	50μm	20μm
10X 대물렌즈	50μm	25μm	10μm
15X 대물렌즈	33μm	17μm	7μm
50X 대물렌즈	10μm	5μm	2μm

Filmetrics 자동 측정 광학 막 두께계측정 그래프:

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