KLA iMicro 나노 스크래치

KLA 나노 스크래치소개:

KLA iMicro 나노 스크래치는 하드 코팅, 필름 및 소량의 재료를 쉽게 측정합니다.이 기기는 정확하고 유연하며 사용자 친화적이며 스크래치, 경도, 스크래치, 범용 나노급 테스트 등 다양한 나노급 기계 테스트를 제공할 수 있다.교환 가능한 드라이브는 연구자들이 소프트 폴리머에서 경질 금속 및 세라믹에 이르는 재료에 대해 상세하고 반복 가능한 테스트를 수행할 수 있도록 동적 범위의 힘 하중과 변위를 제공합니다.모듈식 옵션은 재료 분포, 특정 주파수 테스트, 스크래치 및 마모 테스트, 고온 테스트와 같은 다양한 응용 프로그램에 적용됩니다.KLA iMicro 나노 스크래치는 시료 가열, 연속 강도 측정, NanoBlitz3D/4D 성질 분포, Gemini2D 힘 하중 센서를 포함한 일련의 테스트 확장 옵션을 가지고 있으며 마찰 및 기타 2축 측정을 제공합니다.

KLA 나노 스크래치이점:

• 모듈식 설계는 광범위한 테스트 기능과 높은 통량의 자동화 테스트 기능을 제공할 수 있으며, 나노역학 성능 측정, 스캐닝 프로브 현미경 영상, 고온 측정 및 IV 전압 전류 특성 테스트 실시간, 실험 제어, 간단하고 쉬운 테스트 프로세스 개발 및 테스트 매개변수 설정을 위한 통계 데이터 분석 패키지를 갖추고 있다.

• 표준 InForce1000 전자기 드라이브는 최대 1N의 구동력을 제공합니다.

• 통합 고속 컨트롤러 전자 장치는 100kHz의 고속 데이터 수집을 완료하여 톱니 흐름 및 파열 현상과 같은 재료의 순간적인 응답을 캡처합니다.계기는 비교적 짧은 시간 상수 20μs를 사용하여 재료의 순간적인 진실한 응답을 포착한다.

• 소음 차단 기능이 통합된 고강도 프레임으로 다양한 재료를 정확하게 측정할 수 있습니다.

• 디지털 줌의 고해상도 광학 현미경, 정확한 위치 샘플.

• 나노 스크래치 전문가는 온라인으로 전문 나노 스크래치 과정을 강의하고 모바일 애플리케이션이 테스트 방법의 실시간 업데이트를 제공할 수 있다.

측정 원리:

KLA iMicro 나노 스크래치는 특정 기하학적 형태의 금강석 압두를 사용하여 하중 준정적으로 재료 표면에 압입하여 하중-하역 과정 중의 하중과 압입 깊이 변화를 실시간으로 기록하여 하중-변위 곡선을 생성하고 곡선 분석을 통해 역학 모델을 결합하여 재료의 나노 경도와 탄성 계량 등 매개변수를 계산한다.

주요 애플리케이션:

경도 및 계량 측정(OliverPharr)

기계 표징은 박막의 가공과 제조에서 매우 중요한데, 여기에는 자동차 공업에서의 코팅 품질과 반도체 제조 전단과 후단의 공정 통제가 포함된다.KLA iMicro 나노 스크래치는 초소프트 젤에서 하드 코팅에 이르는 다양한 재료의 경도와 계량을 측정합니다.이러한 특성에 대한 고속 평가는 생산 라인에서의 품질 관리를 보장합니다.

고속 재료 성질 분포

복합재료를 포함한 많은 재료의 기계적 성능은 부위에 따라 다를 수 있습니다.KLA iMicro 나노 스크래치의 시료 플랫폼은 X축과 Y축에서 100mm를 이동하고 Z축 방향에서 25mm를 이동할 수 있으며, 이를 통해 이 시스템은 서로 다른 시료 높이에 적용되고 큰 시료 영역에서 측정할 수 있다.선택적 인 NanoBlitz 형태 및 계층 분석 이미징 소프트웨어는 측정 된 기계적 속성의 색상 분포도를 빠르게 그릴 수 있습니다.

ISO14577 경도 테스트

KLA iMicro 나노 스크래치에는 ISO14577 표준에 부합하는 재료 경도를 측정하기 위해 미리 작성된 ISO14577 테스트 방법이 포함되어 있습니다.이 테스트 방법은 양씨 계량, 계기 경도, 비씨 경도와 표준화 압흔을 자동으로 측정하고 보고한다.

폴리머 TanDelta, 저장 및 손실 측정

KLA iMicro 나노 스크래치는 점탄성 폴리머를 포함한 초소프트 소재에 대해 tandelta 및 저장 및 손실 계량을 측정 할 수 있습니다.저장 및 손실 계량 및 tandelta는 점탄성 폴리머의 중요한 특성이며 그 에너지는 탄성 에너지로 저장되고 열로 소비됩니다.이 두 지표는 모두 주어진 재료의 에너지 소모를 측정하는 데 쓰인다.

정량 스크래치 및 마모 테스트

KLA iMicro 나노 스크래치는 다양한 재료에 대한 스크래치 및 마모 테스트를 수행 할 수 있습니다.코팅과 박막은 화학기계포광(CMP)과 지시선결합 등 여러 공정을 거쳐 박막의 강도와 기판과의 접착성을 시험한다.중요한 것은 이러한 재료가 이러한 공정에서 플라스틱 변형을 막고 기판에 거품이 생기지 않고 그대로 유지되는 것입니다.이상적으로, 개전 재료는 제조 공정에서 재료가 어떻게 반응하는지 결정하는 데 도움이 되기 때문에 고경도와 탄성 계량을 가져야 한다.

고온 나노 스크래치 테스트

고온에서의 나노압흔은 열응력하의 재료성능을 표징하는데 상당히 중요하며 특히 열기계공예중의 실효기리를 량화한다.기계시험기간에 견본온도를 개변하면 열로 인한 행위변화를 측정할수 있을뿐만아니라 나노급에서 쉽게 시험할수 없는 재료과도가소성도 계량화할수 있다.

업계 어플리케이션:

기술적 이점:

• 연속 강도 측정(CSM)

• NanoBlitz3D 빠른 역학적 성능 분포

• NanoBlitz4D 역학적 성능 단층 스캐닝

• ProbeDM 고중합체 테스트

• AccuFil 박막 방법

• 300°C 샘플 가열

• 국제 표준화된 나노 스크래치 테스트

업그레이드 옵션:

스크래치 및 마모 테스트 옵션

스크래치와 마모 테스트는 탐침이 샘플 표면을 통과할 때 고정되거나 점증하는 세로 하중을 가하여 박막, 아삭아삭한 도자기, 고중합물 등의 다양한 재료를 표징하는 데 사용할 수 있다.

바이오 소프트 재료 테스트 옵션

바이오 재료 테스트 방법은 연속 강도 테스트 CSM 표징 계량이 1kPa 정도인 바이오 소프트 재료를 이용하여 플랫 헤드 하나와 소프트 재료 저장 손실 계량을 측정하는 테스트 방법을 포함한다.

DataBurst 테스트 옵션

DataBurst 모드는 100kHz의 속도로 데이터 수집을 트리거하여 톱니 흐름 및 파열 현상과 같은 재료의 순간적인 응답을 캡처합니다.스텝 하중에서 고응변율 재료의 역학적 성능을 측정할 수 있도록 허용한다;짧은 시간 상수를 사용하는 계측기는 고객이 재료의 순간적인 실제 응답을 포착하는 데 도움을 줍니다.

InView 오픈 소프트웨어 제작 플랫폼

InView는 고객이 테스트 과정에서 로드, 측정 및 계산을 제어할 수 있도록 지원하는 개방형 소프트웨어 제작 플랫폼을 사용합니다.참신하거나 복잡한 실험을 설계하는 데 쓰인다.개방형 소프트웨어 제작 플랫폼은 고객에게 비교적 큰 유연성을 준다: 고객이 원시 테스트 데이터를 쉽게 수집하여 최종 분석 결과의 사용에 이르도록 돕는다;고객은 계산 공식, 사용자 정의 매개 변수를 탐색, 편집하여 개성화된 시험 설계를 실현할 수 있다;사용자는 새로운 시험 테스트를 탐색할 수 있도록 시험 매개변수와 시험 과정을 자유롭게 설계하고 변경할 수 있다.

TrueTestI-V 전기 테스트

TrueTestI-V 옵션을 사용하면 샘플에 특정 전압을 가하고 압두의 전류를 측정하여 나노역학 측정 과정에서 전기학적 특성의 부분적인 변화를 나타낼 수 있습니다.

모듈식 랙을 통한 액티브 진동 분리

KLA iMicro 나노 스크래치에 내장된 패시브 그라데이션에 액티브 그라데이션을 추가해 초박막 등 고난도 나노역학 측정이 가능하도록 안정성과 정확도를 높였다.액티브 방진 시스템은 6개의 자유도 진동을 모두 감소시켜 조정할 필요가 없다.

고정밀 선형 광학 인코더 플랫폼

선형 광학 인코더 (LOE) 옵션은 미세 구조 위치를 위한 테스트 프로세스의 위치 정밀도를 향상시킵니다.

압두 프로브 및 교정 샘플

InForce50, InForce1000 및 Gemini 드라이브의 교환 가능한 헤드에는 Berkovich, 입체 각도, 비씨 및 플랫 및 구형 헤드가 포함됩니다.

KLA iMicro 나노 스크래치 측정도: