전체 스펙트럼 타원 편광 두께 측정기 SE950

이점:

1. 마이크로 반점 기능: 표준 배치 마이크로 반점 반점 크기 80x120 마이크로미터.특수 광학 설계와 연마급 고정밀 Z축을 조합하면 투명 라이닝 뒷면 반사를 자동으로 제거할 수 있다.초점 과정 중 막층의 초점 위치를 자동으로 판정할 수 있으며, 광학적 좁은 틈을 통해 투명 라이닝 뒤의 반사를 극복할 수 있다

2. 신호를 사용하여 자동으로 초점을 맞추고, 측정 신호와 초점 신호는 같은 신호로 측정의 위치 오차를 효과적으로 피한다.

3. 편향 검사기 자동 추적: 타원형 계량 측정 정밀도를 대폭 향상시키고, 특히 극박막층의 재료 분석 및 ψ과 정밀도에 유리하다

4. 전동 자동 가변 감쇠편: 서로 다른 샘플 신호의 포화도 (100~0.1%) 를 자동 또는 수동으로 조정할 수 있으며, UV 신호와 가시광선 신호의 강도를 세그먼트별로 설정하여 최적 측정 신호를 얻을 수 있다

5. 소프트웨어 자동 분석 의합: 필름 두께 굴절률 사전 분석 기능 제공, 미지의 재료의 데이터베이스 비교 능력, 소프트웨어 자동 분석 간소화 조작, 타원형 기기가 줄곧 전문가의 조작으로 인한 양적 측정 어려움을 극복한다.

6. 원격 원격 조종: 타원형 기기의 현장 방문 서비스와 교육의 제한을 돌파하여 애프터서비스의 효율을 대폭 향상시킨다

7. 고품질 DUV 분광기: 스펙트럼 범위 220nm-1100nm, (1700nm까지 옵션) 해상도 <1nm 자체 반도체 냉방, 고동태비, 메시지 소음비 가능한 한 소음 영향 감소

8, 2D 또는 3D Mapping 도표 자동 생성 및 자동 데이터 분석, 스펙트럼 자동 저장, 데이터 취합 및 업로드 가능

9. recipe 설정으로 테스트 시간을 1-3초로 대폭 단축하여 테스트 효율을 높인다.

10. 설계상 자외선 둔화 방지 광섬유 이중 광섬유 구조, 선진적인 분리 기능을 채용하여 스펙트럼 안정성과 장기 사용의 신뢰성을 대폭 향상시킨다.

11. 높은 안정성 표준 필름 두께 중복성 정밀도 <0.5A, 굴절률 중복 정밀도 <0.0005

12. 필름 두께 테스트 범위 1nm-20 마이크로미터는 투명 또는 불투명 라이닝 테스트에 사용할 수 있다

13.무료 모델링

사양:

광학 원리:

광파는 광학 어셈블리 표면에 접촉한 후 광학 어셈블리 표면을 벗어나는 짧은 시간 동안 편극적이다상태(polarization state)가 변경됩니다.타원 편광기 는 광파 를 측정하는 데 쓰이는 일종 이다광학 부품을 관통하거나 광학 부품 표면에서 전후 편극 상태를 반사하여 상황을 변화시키는 기구.부터이러한 편극 상태의 변화는 광파와 광학 어셈블리 재료의 상호 작용의 결과입니다.이렇게 하면 광학 어셈블리 표면의 물리적 특성이 편극 상태의 변경 사항에 의해 반추됩니다.이곳광학 부품의 표면은 광학 부품의 표면일 수도 있고, 단층막 또는 다층일 수도 있다필름의 스택은 광학 부품 표면의 오염층일 수도 있다.
빛은 샘플의 두께와 빛에 대한 반응으로 인해 0도가 아닌 입사각에서 샘플 표면으로 반사됩니다.(흡수 또는 투명...) 극화 상태의 변화 (상위 및 진폭의 변화), 이 측정방식을 우리는 타원계량측이라고 부른다.측정할 때 각 파장에 대해 우리는 두 개의 독립된 참을 얻었다수 Ψand △