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제품 카테고리
대미기기기술서비스(상해)유한회사
개요
FR-Scanner-AIO-Mic-XY300은 전자동 도안화 웨이퍼의 단일 및 다중 코팅 두께 측정을 위한 통합 자동 박막 두께 측정 시스템이다.전동 X-Y 캐리어는 적용 가능한 사이즈 300mm x 300mmmm의 여정을 제공하며, 진공을 통해 캐리어에 고정될 때 정확한 측정을 한다.측정 가능한 두께와 파장 범위 응용 수요에 따라 200-1700nm 스펙트럼 범위 내에서 각종 광학 배치를 제공할 수 있다
제품 정보
제품 소개:
FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300 모듈식 두께 측정 시스템은 광학, 전자 및 기계 모듈을 통합하여 마이크로 그래픽, 거친 표면과 같은 그래픽이 없는 필름을 정밀하게 측정하는 데 사용할 수 있습니다.
웨이퍼를 진공 흡판 (웨이퍼 크기 지름 ≤ 300mm) 에 배치하고 반사율 표준 부품을 장착합니다.강력한 광학 모듈에 의해 측정되며 반점의 크기는 몇 마이크로미터까지 작습니다.전기 플랫폼은 속도, 정밀도 및 반복성 측면에서 우수한 성능을 갖춘 XY 방향 300mm 스트로크를 제공합니다.
FR 스캐너 AIO 마이크 XY300제공:
o 실시간 반사율 스펙트럼 측정
o 박막 두께, 광학 특성, 비균등성 측정, 두께 측정
o 내장형 USB 연결 고품질 컬러 카메라를 사용한 이미징
o 측정 매개변수 광범위한 통계
o 주기적 그래픽 영역 측정을 위한 반자동 패턴 맞춤 기능
o다르다소프트웨어 기능 (예: Click2Move, 화면 클릭 위치 측정), 축척
첨부 파일:
FR-AutoFocus: 100mm 장선형 축, 자동 초점용 두 가지 작동 모드: 이미지 초점 (대비) / 반사 강도
Rotation Module: 높은 해상도와 정밀도를 제공하는 회전 모듈 전기 플랫폼
FR-FilterWheel: 12 개의 필터를 수용 할 수있는 슬롯이 있는 전기 필터 휠 모듈은 컴퓨터에 의해 자동으로 제어됩니다: 필터 크기: 지름 0.5 인치, 최대 6 개의 필터 (1 인치)
FR-AutoTurret: 컴퓨터 제어로 4개의 대물렌즈를 수용할 수 있는 자동 회전탑: 렌즈 전환 속도는 약 1.0~3.0초
Lenses: 장거리 VIS/NIR 렌즈: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X
반사형 UV/NIR 렌즈: 10X, 15X, 25X, 40X
Pump: 저소음 진공 펌프, 2.5L/min, 진공도 -60kPa.
Chucks: 6인치 광 마스크 카드 디스크 6인치 테이프 참조 슬라이스 영역, 다중 웨이퍼 카드 디스크 (100-300mm 및 불규칙 모양 슬라이스), 참조 영역 및 어두운 영역 포함, 자동 데이텀
사양:
2D 두께 그래프:
3D 두께 그래프:
측정 원리:
