3차원 측량 윤곽계

3차원 측량 윤곽계

3차원 측량 윤곽계

3차원 표면 미시적 측정 및 조잡도 평가는 정밀 가공, 반도체 가공, 재료 분석 등 분야에 광범위하게 응용된다

우위

√매끄러운 표면 측정 분석에 적합한 나노미터급 세로 해상도

√단순성, 정확성, 신속성, 반복성

√다양한 측정 모드 지원2D/3D는요구 사항 측정

기능

√표면 3차원 조잡도 비접촉 측정

√표면 미시적 3차원 구조 측정

√필름 두께 측정 및 분석

√현미반사 스펙트럼 측정(고르다)

적용 대상

정밀 광학 소자, 마이크로 나노 가공 부품, 금속 기계 가공 부품, 웨이퍼 등

측정 원리

√백광 간섭 현미경 측정 원리: 백광 광원을 사용하여 비상간 광간섭과 고해상도 현미경 영상 기술을 결합하여 미시를 형성한다3차원 윤곽, 서로 다른 측정 배율 물경을 채택하여, 세로 측정 해상도는 나노미터급에 도달할 수 있다

√현미경 스펙트럼 측정: 스펙트럼 모듈을 선택하여 표면 미구 스펙트럼 측정과 필름 두께 측정 기능을 실현할 수 있다

실측 사례