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개요
ZTT-V2 시리즈 편진대 맞춤형 운동 시스템은 수직 승강과 수평 조정 3축 일체형 정밀 위치 플랫폼으로 직선 모터 구동을 이용하여 정밀 구형 경첩 결합을 사용하여 매우 우수한 미동 정밀도와 동적 성능을 갖추고 있다.전체 높이가 작고 크기가 정교하며 강성이 높고 부하 능력이 10kg에 달해 클린룸 환경과 호환된다.$r$n$r$nZTT-V2는 점-점 정적 위치 정밀도와 함께 매우 두드러진 동적 정밀도를 갖추고 있어 미동과 동적 추종 오차에 대한 엄격한 웨이퍼 검측, 광학 조준, 패널 검측 또는 마스크 없는 광각 등 응용에 적응할 수 있다.
제품 정보
ZTT-V2 시리즈 편진대 맞춤형 모션 시스템수직승강과 수평조정 3축 일체형 정밀위치측정플랫폼으로서 직선전기기계를 리용하여 구동하고 정밀구형경첩결합을 채용하여 아주 우수한 미동정밀도와 동적성능을 갖고있다.전체 높이가 작고 크기가 정교하며 강성이 높고 부하 능력이 10kg에 달해 클린룸 환경과 호환된다.
ZTT-V2 시리즈 편진대 맞춤형 모션 시스템점에서 점까지의 정적 위치 정밀도를 갖추는 동시에 매우 두드러진 동적 정밀도를 갖추어 미동과 동적 추종 오차에 대한 요구가 엄격한 웨이퍼 검측, 광학 조준, 패널 검측 또는 무마스크 광각 등 응용에 적응할 수 있으며 센서 초점 높이에 따라 실시간으로 고도와 각도 자세를 조정하여 다방면으로 고객의 운동 제어 난제를 해결할 수 있다.
ZTT-V2 플랫폼 최소 단계테스트
Z 20nm 진입
각 축 내부 안정성
| 축 이름 | Z | θx는 | θy는 |
| 유효한 스케줄\\Travel | 5mm의 | 2° | 2° |
| 위치 정밀도 \ Accuracy | ±0.3 μm | NA는 | NA는 |
| 반복 위치 정밀도 \\Bi-Repeatability | ±0.1 μm | ±0.1 아크세크 | ±0.1 아크세크 |
| 최대 속도\\Maximum Speed(1) | 20 mm/s | NA는 | NA는 |
| 최대 가속도 \\Maximum Acceleration(1) | 1 그램 | NA는 | NA는 |
| 최소 스텝 입력 \\Minimum Incremental step(2) | 20nm | 0.05 아크세크 | 0.05아크초 |
| 최대 부하\\Load Capacity | 10 킬로그램 | ||
| 플랫폼 무게\\Stage Mass | 8 킬로그램 | ||
| 플랫폼 재료\\Material | 알루미늄 | ||
참고:
(1) 비어 있으므로 해당 출력의 증폭기를 구성해야 합니다.
(2) 기본 테스트 포인트 위치는 테이블 위 25mm입니다.
참고:
(1) 단위: mm;
(2) 케이블 커넥터가 표시되지 않습니다.
(3) 전체 3D 시트를 다운로드할 수 있습니다.
제품 구성 옵션
| 제품군 | 테이블 크기 | 피드백 |
| ZTT-V2는 | -200 | - AS |
피드백 옵션
| - AS | VPP 1V 정현 아날로그 입력 |
