CFTCA 시리즈 기계식 직선대

CFTCA 시리즈 기계식 직선대소개:

지심과학기술 CFTCA 시리즈 직선전기기계대-XY는 나노급 위치확정정밀도의 XY 일체형 정밀위치확정플랫폼으로서 직선전기기계로 구동되고 정밀교차롤러레일을 채용하여 아주 우수한 동적성능과 위치확정정밀도를 구비하였으며 공재까지의 주파수는 100Hz 이상에 달한다.CFTCA 시리즈는 뛰어난 산업화 설계를 채택하여 외관 설계 및 기하학적 사이즈가 매우 합리적이며, CFTCA-150XY 전체 여정 평면도와 직선도는 ±2μm 미만이며, 안전 중공 사이즈는 40mm * 40mm에 달한다;CFTCA-250XY 전체 여정 평면도와 직선도는 ±4μm 미만이며 안전 중공 크기는 50mm * 50mm에 달하는 광학 측정 검사 분야의 핵심 부품이다.

CFTCA 시리즈 플랫폼은 구조가 정교하고 치밀하지만 비교적 강한 구동 능력을 가지고 있으며, 상축 속도는 1000mm/s, 공중 부하 가속도는 1g에 달한다. 선형 증폭기를 배치하고, 방진 실험실 환경을 가지고 있으며, CFTCA 시리즈 중공 플랫폼의 재위 안정성은 3nm이며, 최소 단계 진입량은 5nm 미만일 수 있으며, 그 중 빈 특성 때문에 주로 양면 측정 검측, 생물 시료 가공 및 관측, 박막과 잉크급 중공 설계 프로젝트에 응용된다.

CFTCA 시리즈 플랫폼 내부 안정성 및 최소단계 테스트

CFTCA 시리즈 기계식 직선대참고:

(1) 사용자 정의 2D 교정을 거친 후 직교성은 5 arc sec에 도달할 수 있습니다.

(2) -AS 피드백에 적합하고 선형 증폭기를 구성합니다.

(3) 비어 있으므로 해당 출력의 증폭기를 구성해야 합니다.

(4) 기본 테스트 포인트 위치는 테이블 위 25mm, 단일 축 지표, 다중 축 시스템의 성능 지표는 실제 하중 및 작업 포인트 위치와 관련이 있습니다.

(5) 기타 여정은 사용자 정의할 수 있습니다 (예: 여정 350mm*350mm).