운동대 사용자정의

운동대 사용자정의XYZT 4축 일체형 정밀 위치 플랫폼입니다. XYZ는 직선 모터로 구동되고 정밀 교차 롤러 레일을 선택하여 매우 우수한 성능과 위치 정밀도를 갖추고 있습니다. XY축 공중 적재 마감 주파수는 120Hz 이상에 달할 수 있습니다. 좋은 속도 안정성을 갖추고 있습니다. 4축이 중첩된 테이블 위에서 간섭기 5K의 샘플링 주파수를 이용하여 CUBE-4 등속 구간 위치 오차를 테스트합니다. 0.5mm 위치당 동적 적재 표준 빈도 오차는 STHD 주파수 50nz 미만입니다.세타 축은 회전식 드라이브 모터를 사용하며 높은 회전 속도와 높은 정밀도를 갖춘 원형 레일과 래스터를 갖추고 있습니다.또한 Theta 축은 가라앉고 숨겨진 디자인으로 CUBE-4의 전체 높이가 낮고 작업점이 낮아 실제 응용에서 위치 정밀도를 높이는 데 도움이 된다.

또한 Z축은 30ms 이내에 100μm를 스텝하여 ±50nm까지 정정할 수 있다. CUBE-4는 점대점 정적 정밀도를 겸비하는 동시에 매우 뛰어난 동적 정밀도를 갖추고 있어 동적 오차에 대한 요구가 엄격한 생물 또는 웨이퍼 감지 스캔 응용에 적응할 수 있으며, Z축은 센서 작업 거리의 높이에 따라 실시간으로 고속으로 조정하여 고객의 운동 제어 난제를 해결할 수 있다.

CUBE-4 시리즈 4축 플랫폼 동적 성능 테스트

간섭기 5k 샘플링 주파수 동적 테스트: XY 등속 구간 위치 추적 오차, 0.5mm당 STD 표준 차이 50nm 미만

CUBE-4 시리즈 4축 플랫폼 최소단계 테스트

Z축 스텝 100 μm, 30ms에서 ± 50nm로 정정

운동대 사용자정의비고

(1) 쐐기 블록에 평행하거나 수직인 방향 측정

(2) 비어 있는 테스트,

(3) 축선 방향을 따라 힘을 받는다.

(4) -AS 피드백에 적합하고 선형 증폭기를 구성합니다.

(5) 기본 테스트 포인트 위치는 테이블 위 25mm, 단일 축 지표, 다중 축 시스템의 성능 지표는 실제 하중 및 작업 포인트 위치와 관련이 있습니다.

(6) 기타 일정을 사용자 정의할 수 있습니다.