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WAU 로츠 펌프핵심 모델 및 기술 매개변수
WAU 로츠 펌프의 기술적 이점
1. 고효율 에너지 절약
공기 냉각 설계는 냉각수를 외부로 연결할 필요가 없으며 기존 냉각 펌프보다 에너지 소비량이 40% 적습니다.
주파수 변환 속도 조정 호환성(예: WAU 251에서 4200rpm으로 속도 향상), 공정 적합성 50% 향상
2. 무유 밀봉
탱크 모터 (Canned Motor) 는 윤활유 오염을 차단하고 반도체, 태양광 도금 등 순도 높은 공정 요구를 만족시킨다
불소 고무 밀봉 부품은 산소/부식성 가스를 견딜 수 있습니다(예: CVD 공정의 에칭 가스).
3. 모듈식 유지 보수
기어 박스와 펌프 캐비티 분리 설계, 윤활유는 매체에 오염되지 않고 교체 주기를 4000시간으로 연장
수직 / 수평 빠른 전환으로 장치 레이아웃 공간 절약
유지 보수 및 장애 예방
1、강제 보양 항목
운행 2000시간마다 베어링 및 기계밀봉 교체, 원공장 LVO 100/210 윤활유 사용
펌프 챔버를 세척하려면 5% 의 산성 알칼리액을 사용해야 하며, 과립 연마제를 금지해야 한다
2. 운행 금지
연속 압차 > 100mbar는 로터의 과열 변형을 초래할 수 있습니다 (연결 압력 센서 필요).
바이패스 밸브 작동 시간 ≤ 3분, 모터 과부하 방지
3. 업그레이드 옵션
자기부상 베어링 추가: 기계 손실 40% 감소, 유지 보수 면제 주기 8000시간 돌파