MAG 자기부상 분자 펌프

MAG 자기부상 분자 펌프Leybold(라이보) 등이 개발한 건식 진공 펌프로 자기부상 베어링 기술을 적용해 초고진공(UHV)과 가혹한 산업 환경에 적용된다.그 핵심특징은 무유, 유지보수면제, 저진동으로서 반도체, 과학연구, 도금 등 분야에 널리 응용되고있다.

MAG 자기부상 분자 펌프5축 능동 자기부상 베어링 기술을 기반으로 로터를 기계적 접촉 부상 없이 고속으로 회전하는 터빈 블레이드(3000~60000RPM)를 통해 가스 분자를 흡기구에서 배기구로 압축해 초고진공 흡기를 실현한다.

자기부상 베어링: 전자장은 회전자의 위치를 정확하게 제어하여 마찰 마모를 제거한다.

고속 터빈 블레이드: 알루미늄 또는 도금 로터, 공기 흐름 효율 최적화.

무유 설계: 탄소 및 수소 오염을 방지하고 청정 진공 시스템에 적합합니다.

MAGintegra 자기부상분자펌프는 공정에서 발생하는 입자와 퇴적물을 견딜 수 있을 정도로 믿음직하고 내구성이 있다.생산 과정에서 발생하는 큰 공기 흐름의 충격을 견딜 수 있으며 원하는 위치에 원하는 각도로 설치할 수 있습니다.전체적인 외형이 대칭적으로 설계되어 인버터와 일체화되어 있으며 인버터의 설치 위치가 유연하여 설치 공간을 절약할 수 있다.5축 포지셔닝 자기부상 베어링을 사용했기 때문에 TURBOVACMAGiNTEGRA는 유지보수가 거의 없으며 탄화수소 오염의 위험도 없어 지윤활기계 베어링 분자펌프가 적용하지 않는 탄화수소 오염에 대한 엄격한 요구가 있는 진공 응용에 매우 적합하다.MAGintegra의 또 다른 큰 장점은 런타임 시 발생하는 진동이 매우 작다는 것입니다. 이는 일부 응용 프로그램에 매우 중요합니다.

항저우 서우취안 진공 설비 유한공사는 많은 사용자들에게 진공 시스템과 관련된 전면적인 기술 해결 방안을 제공하기 위해 성심성의껏 노력한다.회사는 이미 많은 대학교, 공업, 반도체 등 기업에 성공적으로 서비스하고 있으며, 주로 물리, 재료, 화학, 저온, 광학, 평판 디스플레이 등 관련 분야를 대상으로 한다.서우취안진공은 서비스를 우선시하는 이념을 계승하여 많은 고객과 양호한 협력 관계를 유지하고 있다.