TURBOVAC i 자기부상 분자 펌프

TURBOVAC i 자기부상 분자 펌프TURBOVAC i 시리즈에는 혼합 로터 베어링이 있습니다. 전면 진공 측면의 베어링은 평생 윤활한 세라믹 롤러 베어링이고 고진공 측면의 베어링은 마모되지 않은 자기 부상 베어링입니다.

이러한 모든 종류의 베어링은 일반적으로 윤활유가 필요하지 않습니다 (펌프가 정지된 조건에서는 흡입 작용이 없기 때문에 윤활유가 진공실로 다시 확산될 수 있습니다).

터빈 분자 펌프는 대기압에서 직접 압축할 수 없기 때문에, 그들은 항상 정격으로 충분한 전급 진공 펌프를 필요로 하며, 우리는 마침 이 펌프를 제공한다.유량 및 최종 압력 요구 사항에 따라 시스템 요구 사항을 충족하는 다양한 전면 진공 펌프를 제공합니다.

TURBOVAC i 자기부상 분자 펌프하이브리드 베어링 시스템 사용:

고진공 측면: 자기부상 베어링 (기계 접촉 없음, 마모 없음, 유지 보수 없음).

전면 진공 측면: 세라믹 롤러 베어링 (평생 윤활, 현장 교체 가능).

가스는 고속으로 회전하는 터빈 날개(3000~60000RPM)를 통해 압축돼 고진공 흡기를 실현한다.

분자펌프 설계 이념

라이보 진공은 서로 다른 응용에 대해 서로 다른 베어링과 로터 기술을 기반으로 한 터빈 분자 펌프를 제공한다.예를 들어 TURBOVAC 시리즈 기계 베어링 표준 분자 펌프;TURBOVAC MAG 시리즈 자기부상 베어링 분자 펌프;TURBOVAC i/iX 시리즈 반자기부상분자펌프 (반자기부상분자펌프는 배기단에만 지윤활베어링을 배치하고 고진공단에는 유지보수가 없는 영구자기베어링을 배치한다.)라이보 진공의 분자 펌프는 모두 유윤활 베어링을 사용하지 않아 이론적으로 완성할 수 있다 * 분자 펌프가 챔버에 탄화수소 오염을 일으키는 것을 피할 수 있으며 모든 분자 펌프가 임의의 각도에서 설치될 수 있도록 보장한다.