VTC-600GC-AM 연속식 다강실 자기 제어 사출 도금 시스템

제품 소개

VTC-600GC-AM 연속식 다강실 자기 제어 사출 도금 시스템새로 자주적으로 연구 개발한 도금 설비로, 주로 전달실과 사출 도금실 두 부분으로 구성되며, 기판틀은 전달실과 사출실에서 왕복 운동을 실현할 수 있고, 주파수 변조 모터가 제어하여 자동으로 동시에 운행할 수 있으며, 왕복 위치와 운동 속도를 모두 설정할 수 있으며, 두 실내에 모두 위치 확인 기능이 있어 원점 복원을 실현할 수 있다.단층 또는 다층 철전박막, 전도박막, 합금박막, 반도체박막, 도자기박막, 매체박막, 광학박막, 산화물박막, 경질박막, 폴리테트라불화에틸렌박막 등을 제조하는데 사용할수 있다.VTC-600GC-AM 연속식 다강실 자기 제어 사출 도금 시스템여러 개의 표적총을 선택할 수 있으며, 무선 주파수 전원은 비전도 표적재의 사출 도금에 사용되고, 직류 전원은 전도성 재료의 사출 도금에 사용된다.동종 설비에 비해 광범위하게 응용될 뿐만 아니라 부피가 조작에 편리하다는 장점을 가지고 있으며, 실험실에서 재료 박막을 제조하는 이상적인 설비이며, 특히 실험실에서 고체 전해질 및 OLED 등을 연구하는 데 적합하다.

주요 특징

• 전달실과 사출도금실 두 부분으로 구성되어 있으며 빠르고 연속적인 샘플링 사출도금을 실현할 수 있다.

• 여러 개의 표적총을 선택할 수 있으며, 무선 주파수 전원은 비전도 표적재의 사출 도금에 사용되며, 직류 전원은 전도성 재료의 사출 도금에 사용된다 (표적총은 고객의 필요에 따라 임의로 교환할 수 있다).

• 여러 종류의 박막을 제조할 수 있고 응용이 광범위하다.

• 부피가 작아 조작이 간편하다.

• 전체 기계의 모듈화 설계, 전달실, 진공 챔버실, 진공 펌프 세트, 제어 전원 분리형 설계는 사용자의 실제 수요에 따라 조정할 수 있다.

• 사용자의 실제 수요에 따라 전원을 선택할 수 있으며, 하나의 전원으로 여러 개의 표적총을 제어할 수도 있고, 여러 개의 전원으로 단일 표적총을 제어할 수도 있다.

기술 매개변수