GSL-1800X-ZF-AM 연속식 다강실 증발 도금 시스템

제품 소개

GSL-1800X-ZF-AM 연속식 다강실 증발 도금 시스템고진공의 연속 샘플링이 가능한 증발 도금기로, 주로 전달실과 증발 도금실 두 부분으로 구성되어 있으며, 기판대는 전달실과 사출실에서 왕복 운동을 실현할 수 있고, 주파수 변조 모터가 제어하여 자동으로 동시에 운행하며, 왕복 위치와 운동 속도를 모두 설정할 수 있으며, 두 실내 모두 위치 확인 기능이 있어 원점 복원을 실현할 수 있다.특히 산소에 민감한 금속막 (Ti, Al, Au 등) 과 소분자의 유기물을 도금하기에 적합하다.본 기계에는 4개의 증도가열선이 설치되어 있으며, 각 가열선은 독립적으로 증도할 수 있으며, 가열선 위에는 회전식 베젤이 있으며, 그 중 하나의 가열선이 증도할 때 베젤은 다른 세 개의 텅스텐 배를 가려 증도금 재료 간의 상호 오염을 방지한다.만약 부분적인 배치를 변경해도 유기재료에 대한 증발도금을 실현할수 있고 발광부품 및 유기태양에네르기전지방면의 연구요구를 만족시킬수 있으며 도금이 리상적이고 성가가 비교적 높은 실험설비이다.GSL-1800X-ZF4 증발 도금 캐비티 하단에는 5개의 수냉 전극이 장착되어 있어 작업 중 전극 온도가 너무 높아 녹지 않고 전극을 손상시키지 않도록 효과적으로 보호할 수 있다.이 기계 는 금속 강실 을 채택하여 높은 진공도 를 가지고 있으며, 진공도 는 5.0 × 10 에 이를 수 있다^-7torr，샘플대는 샘플을 가열할 수 있으며 가열 온도는 실온-500 ℃ 로 고진공 증발 도금막을 하는 설비이다.

주요 특징

• 전달실과 증발도금실 두 부분으로 구성되어 빠르고 연속적인 샘플링 증발도금이 가능합니다.

• 진공 제어 장치는 모두 하나의 컨트롤 박스 안에 집합되어 있다.

• 독립된 도금 전류 컨트롤러를 사용하여 조작이 편리하고 빠르다.

• 진공 챔버에는 KF40 사이드 펌프 밸브 1개(전단 기계식 펌프와 직접 연결해 효율 향상), CF150 게이트 밸브 1개(분자 펌프와 직접 연결), KF16 플랜지 1개(저항계 설치), CF35 플랜지 6개(이온화 게이지 1개, 2셀 전극 1개, 필름 두께 1개 설치) 3개의 예비가 설치된다.

• 강체 밑부분에 5개의 수냉전극을 장착하여 4개의 증도가열선을 지원할 수 있다.

• 견본대는 강체의 꼭대기에 설치되어 있다.

• 챔버 내에는 고해상도의 필름 두께 측정기를 장착할 수 있으며, 필름 두께 측정 해상도(알루미늄)는 0.1Å이다.

• 순환수냉기를 사용할 수 있다.

기술 매개변수