VTC-1HD-ZF2 고진공 자기 제어 사출 증발 도금기

제품 모델

VTC-1HD-ZF2는

주요 매개변수

1. 진공실:324X330

극한 진공 6.0X10-4Pa(국산 FF-150리터 터보 분자 펌프 + 기계 펌프 사용)

누수율: 2.0x10-10Pa.m3/s

재료는 304 스테인리스강 용접, 전기화학 표면 광택 처리.

활동부 밀봉은 고무 밀봉 코일, 비활동부 밀봉은 구리 밀봉 코일로 밀봉한다.

동력 전동은 자기 결합 연동 방식을 채택한다.

진공실의 자기 제어 표적 위치, 증발 전극 한 세트 (두 개), 빔 용광로 공위 2개 (빔 용광로 1개 표준).

1조의 유량계 (아르곤 1조) 는 150 유리 관찰창을 가지고 있고, 다른 것은 C35 플랜지 인터페이스를 남겨 둔다.

2. 사출 표적: 2인치(50.8mm)

작동 진공도: 10Pa~0.2Pa

표적재 이용률: > 35% (표준 3mm 구리 표적재, 표적면 진공도 0.5Pa)

MAX功率： <240W(완전한 냉각)

절연 전압: > 2000V(500W DC 전원 공급 장치 1개 포함)

3. 저항증발:

증발 출력 전압: AC 0-8V 연속 조정 가능

극한 증발 전류 200A

극한 증발 전력 <1.6KW

온도를 조절할 수 없고 측정할 수 없다.

4. 속원로: 도가니 용량: 3CC

가열 온도: 실온 -700°C

가열 온도는 측정할 수 있고, 조절할 수 있으며, 제어할 수 있다.

온도 조절 정밀도: ±0.5°C

표준 석영 도가니, 베젤, 열전지.

전원 공급 장치: 500W, 36V

5. 견본대:120

온도 조절: 실온 - 500°C

회전수: 1-20rpm

샘플대 수동 승강 가능, 조정 가능 여정 상한: 50mm

6. EQ-TM106-1 필름 두께계

1) 전원: DC 5V(±10%), MAX 전류 400mA

2) 주파수 해상도: ±0.03Hz

3) 필름 두께 해상도: 0.0136Å(알루미늄)

4) 필름 두께 정확도: ±0.5%, 프로세스 조건, 특히 센서의 위치, 재료 응력, 온도 및 밀도에 따라 다릅니다.

5) 측정 속도: 100ms-1s/회, 설정 가능

6) 측정 범위: 500000Å(알루미늄)

7) 표준 센서 결정체: 6MHz

8) 컴퓨터 커넥터: RS-232/485 직렬 커넥터(전송률 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 설정 가능, 데이터 비트: 8, 정지 비트: 1, 체크: 없음)

9) 아날로그 출력: 8비트 해상도, PWM 펄스폭 변조 출력(집전극 회로 또는 내부 5V 출력)

10) 작동 환경: 온도 0-50 ℃, 습도 5~85% RH, 응축된 물방울이 있어서는 안 된다

11) 폼 팩터: 90mm × 50mm × 18mm

7. 설비에는 냉수기 1대 (KJ5000형) 가 표준으로 장착되어 있으며, 고객이 자체 냉수기 및 이온제거수 또는 정제수를 준비한다.

8. 전체 전원 입력: AC220V/50Hz.전력 <3.5KW.

9. 제품 규격:

크기: 약 1300mm × 660mm × 1200mm; 무게: 약 160kg