VTC-110PAX 고통량 자동 회전 코팅 시스템은 자동 흡액 주액 방식을 채택하여 주액 후 기판 표면에 자동으로 얇은 막을 한 층 돌려 바르고, 돌려 바른 후 기판을 토스터 표면으로 이동하여 얇은 막을 건조한다.액체는 교반하여 침전을 방지할 수 있으며, 만약 가열이 필요하다면 액체를 가열하여 조작할 수 있다.전체 조작 과정은 11인치 터치스크린에 설치되어 조작이 직관적이고 편리하다.이 설비는 전문대학 및 과학연구실험실에서 진행하는 칼슘티타늄광박막 및 기타 액체박막의 연구에 적용되며 고객의 각종 요구에 따라 설비를 맞춤형으로 제작할수 있다.
제품 소개
VTC-110PAX 하이패스 자동 회전 코팅 시스템자동 흡액 주액 방식을 채택하여, 주액 후 기판 표면에 자동으로 얇은 막을 한 층 돌려 바르고, 돌려 바른 후 기판을 토스터 표면으로 이동하여 얇은 막을 건조한다.액체는 교반하여 침전을 방지할 수 있으며, 만약 가열이 필요하다면 액체를 가열하여 조작할 수 있다.전체 조작 과정은 11인치 터치스크린에 설치되어 조작이 직관적이고 편리하다.이 설비는 전문대학 및 과학연구실험실에서 진행하는 칼슘티타늄광박막 및 기타 액체박막의 연구에 적용되며 고객의 각종 요구에 따라 설비를 맞춤형으로 제작할수 있다.
기술 매개변수
제품명 |
VTC-110PAX 하이패스 자동 회전 코팅 시스템 |
제품 모델 |
VTC-110PAX는 |
주요 매개변수 |
VGB-6 장갑 상자 매개 변수: 오픈 가능한 단면 이중 공위 장갑 상자
장갑 상자 캐비티 |
하우징 소재: 304 스테인리스 스틸
크기: 1200mm(L) x 780mm(W) x 900mm(H)
앞창은 각종 기구를 넣을 수 있도록 개방식으로 설계되었다. |
강체 환경 |
물 함량: <1ppm(20°C, 1atm)
산소 함량: <1ppm(20°C, 1atm) |
전급실 |
설계에는 두 개의 전급실이 있다
전면 룸 크기: Φ360mm x 600mmL
소형 전면실 크기: Φ150mm x 300mm(L) |
작동 가스 |
작동 가스: N2, Ar, He 등 불활성 가스
제어 가스: 압축 공기 또는 불활성 가스
환원 가스: 작동 가스와 수소 (H2) 의 혼합 가스.
만약 정화 시스템이 제수 기능만 있다면, 환원 기체는 작업 기체와 같다 |
가스 정화 시스템 |
독일 BASF 산소제거 재료, 미국 UOP 흡수재료, 정화시스템 재생과정 자동제어, 자동제수 산소제거 기능;기체의 순도를 장기적이고 지속적으로 유지할 수 있다: 물<1ppm, 산소<1ppm. |
압력 제어 시스템 |
PLC 터치스크린을 통해 챔버 기압을 자동으로 제어
제어 정밀도: ± 1Pa
페달 스위치를 통한 수동 제어 가능 |
필터링 시스템 |
공기 흡입과 공기 흡입단에 모두 필터가 설치되어 있다
필터 정밀도: 0.3μm |
제어 시스템 |
SIEMENS 컬러 터치 스크린(6인치), PLC 제어 시스템, 중국어 및 영어 이중 언어로 전환 가능
워터프로브: 미국 GE 브랜드, 0~1000ppm 터치스크린 디스플레이, 정밀도 0.1ppm
산소변송기: 미국 AII 브랜드, 0~1000ppm 터치스크린 표시, 정밀도 0.1ppm
압력 감지기: 미국 setra 브랜드, -2500~2500Pa 터치스크린 디스플레이, 정밀도 ±1Pa |
장갑 |
미국 NORTH 브랜드 부틸 합성고무 |
조명 시스템 |
필립스 브랜드 형광등관 배치 |
계기 크기 |
2300mm (L) x 1500mm (W) x 1900mm (H) |
주의사항 |
장갑 상자 내부의 가스가 순환할 때, 반드시 순환 시스템의 파이프가 원활하고 막혀서는 안 된다.
장갑 상자 에 부식성 기체 가 들어갈 수 없다
정기적으로 장갑 상자를 재생해야 한다
장갑 상자의 산소 제거 속도는 들어오는 작업 가스에 따라 결정되며, Ar에 들어가는 것보다 N2의 산소 제거를 사용하는 것이 좋습니다.
만약 장갑상자 내부에 부식성 기체 (예를 들어 LiPF6 전해액) 가 놓여 있다면, 사용하지 않을 때는 반드시 액체를 담은 병을 잘 밀봉해야 한다 |
필름 시스템 매개변수
회전 도료 작업 위치 수량 |
4공위 |
회전 도료기 파라미터 |
1. 캐비티(재질): 폴리프로필렌
2. 적재판(흡판): 폴리프로필렌 흡판 Φ19mm, Φ60mm, 100 ㎜ 각 1개
3. 실행 방식: 12개의 프로그램을 저장할 수 있다;프로그램 그룹당 6단계 실행
4, 코팅 속도: 20rpm-12500rpm 유효, 속도 해상도 1rpm/s
5. 증감속도: 단락당 증감속도 설정 범위: 20rpm-15000rpm/s
6. 코팅 시간: 시간당 범위: 0-3000s
7. 회전속도 안정성: ±1%
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액체 교반 시스템 |
가열 가능한 자력 믹서 펌프 네 개를 갖추다
가열 온도 RT-100 ℃
자력 교반 속도: 0-2000rpm
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주액 시스템 |
이액총 은 자동으로 좌우 상하 로 이동한다
수평 이동 유효 스트로크: 500mm 스트로크
수평 이동 속도: 1 ~ 1800mm / min (정수).
수직 상하 이동 유효 여정: 250mm;
상하 리프팅 이동 속도: 1~200mm/min(정수)
네 개의 고정밀 자동 주액기를 갖추다
주액 정밀도: ±1μl
증가량: 1μl
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박막 건조 시스템 |
1. 가열전력: 3500W
2. 가열 온도: ≤ 500 ℃
3. 온도조절정밀도: ± 1 ℃
4. 가열판: 350mm×240mm
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