초고해상도 발사 스캐닝 전자 현미경 Regulus8100

"Regulus 시리즈"는 SU8010의 후속 모델로 개발된"Regulus8100"및 SU8200 시리즈의 업그레이드"Regulus8220","Regulus8230","Regulus8240"을 포함한 히타치 하이테크놀로지의 FE-SEM의 새로운 브랜드로, 총 4개 모델로 해상도와 조작성 강화를 실현했다.

스캐닝 전자 현미경 (SEM) 나노 기술에 널리 적용, 반도체?전자업계, 생명과학, 재료과학 등 분야의 재료구조 관찰.최근 몇 년 동안 차세대 전자 부품 응용에서 광범위한 기대를 받고 있는 신형 탄소 재료, 고분자 재료, 복합 재료 등의 연구는 선진 과학 기술의 중견 기술로서 전 세계적으로 큰 인기를 끌고 있다.스캔 전자 현미경은 이러한 재료의 관찰에 널리 사용됩니까?하지만 초고해상도만으로는 부족하다는 평가다.또한 저가속 전압에서 표면의 미세한 구조를 관찰하고 민감도를 높일 수 있는 원소 분석도 요구한다.이 외에도 오랜 연구 과정에서 전경의 성능의 지속적 안정과 신뢰성을 추구했다.

이번에 발표한 새 브랜드'레귤러스 시리즈'는 전자광학 시스템을 최적화 처리해 착륙 전압이 1kV일 때 해상도를 이전 세대 모델보다 약 20% 높였다."Regulus8220/8230/8240"은 0.9nm, "Regulus8100"은 1.1nm의 해상도를 제공합니다.또 저가속 전압에서 고해상도 관찰에 가장 적합한 냉장 전자총은 샘플의 디테일을 확대하고 고품질의 사진을 얻을 수 있다.최대 증폭배율도 종전 100만배에서 200만배로 높아졌다.
이 외에도 다양한 샘플의 테스트에 더 잘 대응하고 고성능을 발휘하도록 신호 감지 시스템의 조작 보조 기능, 유지 보수 보조 기능 등 사용자 보조 기능을 강화했다.

주요 특징

1. 색차가 극히 적은 저가속 전압 고해상도 관찰에 적합한 냉장 전자총을 탑재했다

2. 이전 세대에 비해 약 20% 향상된 해상도
   (Regulus8220/8230/8240: 0.9 nm/1 kV, Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)

3. 최대 배율을 기존 100만 배에서 200만 배로 높이다^*1

4. 사용자 보조 기능은 사용자가 기기의 고성능을 완전히 발휘하도록 돕는다

주요 매개변수

*1 Regulus8240/8230/8220 전용

*2 감속 모드 관찰

*3 127mm × 95mm 시야의 화면 배율

*4 5축 모터는 옵션