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Regulus 시리즈(초고해상도 송신 스캔 전자 현미경)

협상 가능업데이트07/29
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개요

초고해상도 송신 스캔 전자 현미경 Regulus 시리즈 Regulus 시리즈 기존 모델 SU8240, SU8230, SU8220 및 SU8010을 재통합하여 Regulus8240, Regulus8230, Regulus8220, Re...

제품 정보



Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)

초고해상도 송신 스캔 전자 현미경 Regulus 시리즈


Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)

"Regulus 시리즈"

기존 모델 SU8240, SU8230, SU8220 및 SU8010을 재통합하여 Regulus8240, Regulus8230, Regulus8220, Regulus8100으로 파생

'리글러스 시리즈'는 기존 모델의 관찰·분석 성능을 계승한 SU8200 시리즈의 저소음 냉장 발사 전자총*1을 장착해 고안정 빔스트림을 얻을 수 있다.

전자광학 시스템 최적화를 통해 레귤러스 8240/8230/8220은 1kV 조건에서 해상도가 0.9nm, 레귤러스 8100은 1.1nm로 향상돼 관찰 성능이 기존 모델 대비 20%가량 향상됐다.

또한 초고해상도 능력을 충분히 발휘하기 위해 증폭배율도 과거 100만배에서 200만배 * 1로 높아졌다.
Regulus8240/8230/8220/8100은 또한 사용자 지원 기능을 보완하여 이 기능을 통해 사용자가 각종 복잡한 신호의 검측 원리를 더욱 쉽게 이해하고 사용자가 기기의 양호한 성능을 충분히 발휘할 수 있도록 돕는다.

*1

Regulus8240/8230/8220 전용



특징

  • "SU8200 시리즈"를 사용한 냉장 발사 전자총 *2

  • 전자빔이 Flashing 후에 나타난 고휘도 안정 영역을 안정 관찰의 구간으로 채택하여 저가속 전압 조건에서 고해상도 관찰과 분석의 양호한 성능을 겸비하게 한다

  • 기존 모델에 비해 해상도가 20% 정도 향상되었습니다.
    (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)

  • 오염이 적고 고진공 샘플 창고를 채택하다

  • 에너지 필터(옵션)를 사용하여 다양한 성분 대비 관찰 가능*2

극저 착륙 전압 아래 고해상도 관찰

Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)

견본: 금 알갱이
착륙 전압: 10V

초고해상도 관찰

Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)

샘플: Pt 촉매
가속전압: 30kV

저가속 전압에서 고해상도 EDX 분석

Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)

샘플: Sn 볼
착륙 전압: 1.5kV

*2Regulus8240/8230/8220 전용


Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)



사양

Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)


*3감속 모드에서 관찰

*4127mm × 95mm 필름 기준 배율

Regulus SEM Layout

Regulus系列 (超高分辨场发射扫描电子显微镜)