신형 쇼트키장 발사 스캐닝 렌즈 SU7000

신형 쇼트키장 발사 스캐닝 렌즈 SU7000
- 샘플에 대한 다양한 정보를 얻을 수 있어 대용량 분석 가능 -

쇼트키장은 스캐닝 렌즈 SU7000을 발사하여 다양한 신호를 수집하여 샘플의 다양한 정보를 얻는 시간을 단축시켜 진정으로 높은 통량의 관찰과 분석을 실현했다.

SU7000 외관도

전자현미경(SEM)을 스캔하면 시료에서 나오는 이차전자, 배산사전자, X선 등의 신호를 감지해 미세구조부터 구성성분까지 다양한 정보를 얻을 수 있어 나노기술, 반도체, 전자부품, 바이오, 소재 등 다양한 분야에 널리 활용되고 있다.SEM의 응용범위가 끊임없이 확대됨에 따라 관찰시간의 단축, 신호의 신속하고 능률적인 채집에 대해 진일보한 수요를 제기하였다.
SU7000은 새로 설계된 탐측기를 채용하여 2차전자신호, 배산란전자신호에 대한 검측 및 분리능력을 크게 향상시켰다.이전에 우리는 얻은 신호에 따라 샘플과 렌즈 사이의 거리 (작업 거리/이하 WD) 를 조정하여 가장 적합한 관찰 및 분석 조건을 설정해야 했는데, SU7000은 새로 개발한 샘플 창고 및 검출기 시스템을 통해 WD를 변경하지 않고 다양한 신호를 더욱 효율적으로 수신할 수 있어 샘플 관찰 및 분석 시간을 단축하고 테스트 효율을 높였다.
또한 SU7000은 동시 6채널 디스플레이 인터페이스 (이전 세대 모델은 4채널만 동시에 표시할 수 있음) 를 구성하여 SEM 제어 시스템을 더욱 업그레이드하고 신호 획득 속도를 대폭 향상시켜 샘플의 높은 통량 관찰을 실현했다.
또한 초대형 샘플 창고를 표준으로 장착하고 부속품 인터페이스를 증설하여 각종 샘플의 관찰과 분석에 적용할 수 있다.
히타치 하이테크놀로지는 8월 5일(일)∼8월 9일(목) 미국 메릴랜드주에서 열리는'Microscopy & Microanalysis'와 9월 5일(수)∼9월 7일(금) 커튼쇼센터(지바현 지바시)에서 열리는'JASIS 2018'에서 이 SU7000을 선보일 예정이며, 연간 전 세계 판매량은 150대에 달할 전망이다.
히타치 첨단기술과학시스템사업부는 2020년에 전자현미경 업계 세계 1위가 되는 것을 중기 전략 목표로 삼고, 앞으로도 제품 연구개발과 시장 보급을 전력으로 추진하여 글로벌 제조업에 더 큰 기여를 하기 위해 노력할 것이다.선진적이고 선진적인 사업혁신형기업으로서 앞으로 첨단기술과 해결방안을 제공하는 글로벌일류기업이 되는것을 목표로 시종 고객의 립장에 서서 고객과 시장의 수요를 재빨리 만족시켜야 한다.

[주요 특징]
1. 동일한 WD 조건에서 2차 전자, 배산란 전자 관찰과 X선 분석을 동시에 실현할 수 있다
2. 최대 6채널 감지 및 디스플레이 동시 가능
3. 최대 픽셀 10240 x 7680에서도 이미지 데이터 사용 가능
4. 동급 * 장치에서 최대 18개의 액세서리 인터페이스 구성 가능
5. 최소 300Pa의 저진공 모드 지원(옵션)
* 공간 해상도 1nm/1kV 이하

[주요 사양]

주요 개념

1. 다양한 이미징 능력
   SU7000은 광범위한 SEM 요구를 충족시키기 위해 여러 신호를 빠르게 수집하는 데 뛰어난 것입니다. 광범위한 시야를 이미지하기 시작하여 하위 나노미터 구조 및 그 사이의 모든 것을 시각화합니다.
   새로 설계된 전자 광학 및 감지 시스템의 통합은 여러 차차 전자 및 역 분산 전자 신호를 효율적으로 동시에 수집할 수 있습니다.
2. 다채널 이미징
   SEM에 장착된 탐지기의 수는 점점 증가하고 있으며 수집된 모든 정보를 효과적으로 표시할 필요가 있습니다.
   SU7000은 정보 수집을 극대화하기 위해 최대 6개의 신호를 동시에 처리, 표시 및 저장할 수 있습니다.
3. 다양한 관측 기술
   표본실 및 진공 시스템은 다음과 같이 최적화되었습니다.
   ・큰 표본 크기
   ・다양한 축에서 샘플 조작
   ・변수 압력 조건
   ・cryogenic 조건
   ・가열 및 냉각 현장 관측
4. 마이크로 분석
   전자 총은 다양한 마이크로 분석 응용 프로그램을 수용하기 위해 최대 200 nA 전전류를 제공하는 Schottky 방출기를 갖추고 있습니다.
   표본 방과 포트 레이아웃은 EDX, WDX, EBSD, cathodoluminescence 등을 포함한 여러 분석 옵션을 통합하도록 설계되었습니다.
   수많은 분석 액세서리를 결합한 SU7000은 단일 플랫폼에 다분야 기술을 통합합니다.

이미지 성능

개선된 정보 수집

단일 스캔 다중 신호 이미징

표본: 유기 코팅 금 막대

표본 제공: Mr. Smart and Ms. Je Chemistry Dept.,
바사르 대학

표면 미소 구조 정보 (UD), 표면 코팅 (MD) 및 전체 지형 정보 (LD)를 위한 동시 이미지 수집.가속 전압: 1 kV

직관적인 그래픽 사용자 인터페이스

향상된 신호 표시

• 사용자 정의 가능한 디스플레이 모드.
• 단일 및 이중 모니터 구성.
• 최대 4 채널 (단일) 및 6 채널 (더블) 동시에 이미지 표시.
• 광학 단계 탐색을 위한 광광장 범위 및 SEM MAP.

매우 유연한 스크린 레이아웃

이 소프트웨어는 이 이 소프트웨어는 단일 모니터에 소소소장 범위 또는 SEM MAP를 포함한 1, 2 또는 4 개의 신호를 표시할 수 있습니다.
또한, 작동 패널은 화면의 어디서나 하위 메뉴를 표시하도록 사용자 정의 할 수 있습니다.

이중 모니터

첫 번째 모니터는 전용 이미지 디스플레이로 사용될 수 있으며 두 번째 모니터는 작동을 위해 사용됩니다.
철강 표본에 있는 비금속 포함물의 5개의 탐지기 이미지 (UD, LD, UVD, MD, PD-BSED) 및 SEM MAP가 표시됩니다 (왼쪽).
화면은 하나의 화면에 작업 패널 메뉴와 thumbnail 이미지 창을 표시합니다 (오른쪽).
이중 모니터 구성은 확장된 w

확장 가능한 관측 및 분석

큰 표본 방과 큰 단계

표본 방은 높이 φ 200 mm 또는 80 mm의 높은 표본과 18 개의 액세서리 포트를 수용할 수 있습니다.대형 단계는 135 mm (X) x 100 mm (Y)를 여행하고 최대 2 kg의 표본을 받을 수 있습니다.^(*)대형 표본 또는 변수 유형의 하위 단계는 앞 개방 대형 단계 문에 쉽게 설치할 수 있습니다.

(*) 0° 기울이기

카메라 탐색^(*)

왼쪽: 방 내부에 장착된 카메라에 의해 왼왼쪽으로 왼왼쪽으로 왼왼쪽: 왼왼쪽: 왼왼쪽 왼왼쪽 왼왼왼쪽: 왼왼왼쪽: 왼왼왼왼
오른쪽: SEM MAP 화면에 전송된 카메라 이미지.

카메라 네비게이션 기능은 광학 이미지를 대상 관찰 영역과 관련시킵니다.
표본 방에 설치된 카메라는 표본 도입 시 표본 이미지를 캡처합니다.이미지는 그래픽으로 구동 된 탐색 인터페이스를 위해 SEM MAP 화면에 전송됩니다.
카메라 네비게이션은 최대 φ 100 mm 표본을 지원합니다.

(*)

카메라 탐색 기능은 선택적입니다

동적 관찰을 가능하게 하는 감지 시스템

SU7000은 다양한 환경 조건에서 관찰을 지원합니다.다양한 감지기^(*)UVD 및 MD와 같은 PD-BSED 외에도 낮은 진공 조건에서 관찰을 위해 선택할 수 있습니다.

낮은 진공 조건에서 탐지기 선택
표본: 금속 산화물을 가진 섬유
왼쪽: MD (Backscattered electron) 이미지
오른쪽: UVD (SE 이미지)
산화물 분산과 섬유 층화 상태는 각각 관찰됩니다.

왼쪽: 30 ms x 64 프레임의 스캔 속도로 전통적인 PD-BSED 응답
오른쪽: SU7000 PD-BSED 이미지는 현장 관찰 능력을 확장하기 위해 향상된 응답과 이미지 품질을 보여줍니다.