자외선 레이저 직사 광각 시스템 _AOD

협상 가능업데이트02/10

모델

제조업체의 성격: 생산자

제품 카테고리

원산지 Place of Origin

온라인 상담

개요

직사 광각 가공 부품, 자외선 광각, 자외선 레이저 직사 광각 시스템 _ AOD: 레이저 직사 설비는 주로 마스크 없이 마이크로 구조 도안을 직접 노출하여 연사 광학 부품, 마이크로 컴퓨터 전기 시스템을 제조하는 데 사용된다.광각 접착제를 칠하는 데 사용되는 각종 기판은 (예를 들어 유리, 실리콘 조각 또는 기타 평면 재료) 에서 마스크 없이 직접 노출되어 연사 광학 소자, 마이크로컴퓨터 전기 시스템 가공 플랫폼 설비로 사용될 것이다.

제품 정보

자외선 레이저 직사 광각 시스템 _AOD: 레이저 직사 설비는 주로 마스크가 없는 직접 노출로 마이크로 구조 도안을 전이하여 연사 광학 소자, 마이크로 전기 시스템을 제조하는 데 사용된다.광각 접착제를 칠하는 데 사용되는 각종 기판은 (예를 들어 유리, 실리콘 조각 또는 기타 평면 재료) 에서 마스크 없이 직접 노출되어 연사 광학 소자, 마이크로컴퓨터 전기 시스템 가공 플랫폼 설비로 사용될 것이다.

자외선 레이저 직사 광각 시스템 _AOD직접 쓰기 성능 매개변수
헤더	고해상도	100×	50×	20×	10×	5×
최소 피쳐 크기(μm)	0.25	0.3	0.6	1	2	4
조잡도 (3σ, nm)	50	60	70	80	110	160
CD 균일성 (3σ, nm)	50	60	80	130	180	250
세트 정밀도 100 × 100mm²(nm)	300	300	500	500	800	1000
쓰기 속도 mm²/min	5	15	40	150	600	2000
100 × 100mm² 쓰기 시간(min)	3000	740	255	72	20	7
시스템 특징
라이트	405nm 또는 375nm
기판 크기	최대 9인치
기판 두께	0.1mm ~ 15mm
최대 노출 영역	200×200mm²
온도 안정성	±0.1°
그레이스케일 레벨	4096
확장성	다중 채널 확장 지원
주요 기능
스크립트화된 쓰기 모드	사용자 정의 가공 구조를 지원하는 스크립트화된 프로그래밍 인터페이스 제공
쓰기 및 슬라이스 소프트웨어	JPG, TIFF, GDS 등 다양한 형식 지원
실시간 자동 초점	광학 초점
자동 초점 범위	100μm
시스템 어셈블리
물경	5 ×, 10 ×, 20 ×, 50 ×, 100 ×, 고해상도 렌즈 옵션
시스템 크기
가로 세로 높이	1320mm × 1320mm × 2000mm
무게	1100KG의
설치 기준
전기 조건	230VAC±5%, 50/60Hz, 16A
환경 온도	온도: 21±1도, 습도: 50~70%, 비응축
압축 공기	6-9bar, ±0.5bar
환경 조명	노란빛
청결 등급	천 레벨 클린룸

비슷한 제품 추천