이중 광자 집합

협상 가능업데이트02/10

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제조업체의 성격: 생산자

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개요

듀얼 광자 중합 3D 가공, 듀얼 광자 중합 _ MPD: 리얼 3D 마스크 없는 광각으로 높은 자유도 나노급 3D 구조 제조를 실현할 수 있으며, 최소 특징 크기는 50nm에 달한다.여러 분야의 연구 발전을 위해 우수한 고정밀도, 3D 제조 솔루션을 제공하며, 응용 분야에는 마이크로 나노 광학 부품, 마이크로 / 나노 흐름 제어 칩, 슬라이스 광선 상호 연결, 마이크로 기계 등이 포함되지만 이에 국한되지는 않는다.

제품 정보

이중 광자 집합_MPD: 리얼 3차원 마스크 없는 광각, 높은 자유도 나노급 3차원 구조 제조를 실현할 수 있으며, 최소 특징 크기는 50nm에 달한다.여러 분야의 연구 발전을 위해 우수한 고정밀도, 3차원 제조 솔루션을 제공하며, 응용 분야는 마이크로 나노 광학 부품, 마이크로 / 나노 흐름 제어 칩, 슬라이스 광 상호 연결, 마이크로 기계 등을 포함하지만 이에 국한되지 않는다.

이중 광자 집합_MPD매개변수:

시스템 매개변수		PD-100 하위 시리즈	PD-1000 하위 시리즈	PD-2000 하위 시리즈
가로 최소 피쳐 치수(nm)		XY≤80	XY≤80	XY≤50의
가로 최소 주기 / 해상도 (nm)		XY≤300	XY≤300	XY≤200
조립 정밀도 (nm)		≤ 200
최고 표면 거칠기 (nm)		≤5
참고: 위의 값은 각 매개변수의 일반 범위이며 한계 값은 아닙니다.예: 최소 피쳐 치수 xy≤80nm, 실제 달성 가능한 최소 피쳐 치수는 80nm 이하입니다.
특징 기능 및 구성(×-표준기 불포함, -표준기 구성, ○-추가가능)		PD-100 하위 시리즈	PD-1000 하위 시리즈	PD-2000 하위 시리즈
고정밀 초점 찾기	정밀도 ≤ 25nm, 실리콘, 유리, 사파이어 등 투명/불투명 라이닝 호환	√	√	√
초점 반점 / 사진차 조절		×	○	√
3D 공통 초점		×	○	○
3차원 조준		×	○	○
다중 참량 미리 보기		√	√	√
스크립트 기능		√	√	√
지능형 정책	1. 컨투어/셸 - 채우기; 2. 임의 / 사용자 정의 시퀀스 모드 3. 동적 초점 반점 조절 (그레이스케일) 4. 적응형 슬라이스 5. 벡터 가공 모드	√	√	√
고정장치 / 라이닝	1. 금속, 유리(석영), 사파이어, 실리콘칩 등을 포함하되 이에 국한되지 않는다 2. 다양한 라이닝 고정 모드 호환: 흡착대, 클립, 자기 흡착 3. 패브릭 / 맞춤형 광 클램프	√	√	√


초점 모니터링		√	√	√
에너지 모니터링		√	√	√
액세스 가능성	앵커 포인트, 측정, 마커, 기울기 보정, 회전 등	√	√	√
포토레지스트/소재	1.자체 연구 쌍광자 포토레지스트, HBP, PPI-Dip, HBO-2 등 2.타사 쌍광자 포토레지스트 호환;기타 광경화 물질에는 AZ 시리즈, SU8 시리즈가 포함되지만 이에 국한되지는 않습니다. 3. 바이오 호환성 하이드로겔 소재 인쇄 지원 4. 유리, PDMS 및 다양한 전구체 포토레지스트 지원	√	√	√
확장 기능 1: 자동 접착제		○	○	○
확장 기능 2: 형광 공초점		×	○	○
확장 기능 3: 다중 채널 확장		○	√	√
하드웨어 구성 정보 (× - 표준기 없음, - 표준기 구성, ○ - 추가 가능)		PD-100 하위 시리즈	PD-1000 하위 시리즈	PD-2000 하위 시리즈
포커스 시스템		표준: 종합 배율 66배,NA 1.42。(기타 배율 및 요구 사항 맞춤형 구성)
초속 레이저		중심 파장: 515nm/780nm(옵션) 평균 전력: ≥ 1W 펄스 폭: ≤ 200fs 반복 주파수: 80MHz
변위대		XYZ行程：100mm × 100mm × 25mm
고정밀 Z축		여정: 75 μm;정밀도: ≤ 10nm
온도 제어 시스템		○	환경 온도 제어 시스템, 정밀도 ± 0.1 ℃ (온도 기준치는 외부 실험실과 동일하며 외부 실험실은 온도 안정성이 ± 1 ℃ 보다 우수하도록 보장해야 함)
방진 시스템		○	다중 레벨 액티브 / 패시브 방진 시스템 구성
설치 조건 (이하 권장 조건, 더 자세한 매개 변수는 제조업체와 의사 소통 가능)		PD-100 하위 시리즈	PD-1000 하위 시리즈	PD-2000 하위 시리즈
전기 조건	전력 공급 조건	6제곱, 220V, 50Hz, 16A
	최대 전력 / 작동 전력	4kW/1kW	8kW/4kW
환경 조건		황광등, 만급 및 이상 청정실, 방진등급은 VC-C보다 우선, 실험실 상온, 21-23 ℃ 추천
압축 공기		비필수, 액티브 방진 및 흡착대 고정장치 전용
권장 사용 면적		2m × 2m
외형 치수	장치 본체 (mm, 폭 × 깊이 × 높이)	785×940×720	1300 × 1300 × 2200 (항온 모듈 1900 제외)
	캐비닛 (mm, 폭 × 깊이 × 높이)	620×800×1600	620×800×1600
총 무게(kg)		＜600	＜1200

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