Thermo Fisher 클린룸 AMC 온라인 모니터링 시스템

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AMC 기체 분자 오염물질(Airborne Molecular Contamination)은 공기 중에 존재하는 기체 화학물질이나 휘발성 유기화합물(VOCs)로 제품, 제조 과정 또는 사람에게 악영향을 줄 수 있다.이러한 오염 물질은 일반적으로 HEPAULPA와 같은 전통적인 미립자 필터를 통해 제거되지 않으며 특별한 통제 조치가 필요합니다.

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Semi F21-1016 기준에 정의된 AMC는 MA(산성물질/MB(알칼리성물질)/MC(응결물질)/MD(잡물질/MM(금속물질) 등 크게 다섯 가지로 나뉘는데, 여기에는 흔히 볼 수 있는 NH3, SO2, H2S, VOCs, HF, HCI 등이 포함된다.

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AMC의 출처는 상당히 광범위한데, 예를 들면 제조 공정에 사용되는 화학품, 외기에 함유된 오염물, 먼지 없는 실내의 건축 자재 방출, 인원 배출 등이다.

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미세한 AMC 물질이 무진실에 들어가면 식각 공정 불량률 향상, 광저항제 변질, 웨이퍼 오염 또는 산화, 광학 렌즈 안개화 등의 문제를 초래할 수 있으며 인체 건강까지 영향을 미칠 수 있기 때문에 원천관리, 오염물 농도를 실시간으로 모니터링하고 제어하는 AMC 관리가 무진실의 핵심 연구 과제 중 하나가 될 것이다.

AMC는온라인 모니터링 시스템 구성

다음과 같은 구성 요소가 있는 완전한 AMC 온라인 모니터링 시스템 세트:

●샘플링 시스템:다류로 샘플링 시스템과 샘플링 파이프라인 설치, 분석 결과에 영향을 주지 않는 재료를 선택하고 모니터링 지점 계획에 협조하여 무진실 전체 환경 상황을 효과적으로 파악한다.

●분석기:고객의 요구에 따라 Thermo Fisher는 NH3, H2S, VOCs, 각종 음양이온, 특수 성분 VOCs 등 다양한 온라인 분석기 구성을 제공하여 생산 노드에 따라 핵심 물질과 대응 농도를 분석할 수 있다.

●데이터 수집 시스템:서로 다른 분석기의 데이터를 취합하여 각 지점의 역사 데이터를 나타내고, 다시 전송 요구에 맞추어 데이터를 고객 수신단으로 전송할 수 있으며, 경보 시스템에 맞추어 오염물의 상승 추세를 효과적으로 조기에 예단할 수 있으며, 나아가 무진실 여과재의 교체 빈도를 조정하여 효율을 대폭 높일 수 있다.