APIX 고순도 분석기

고순도 분석기공정이 선진적인 전자회로와 기능*의 과정분석소프트웨어를 결합한 대기압이온화질량분석기 (API-MS) 는 Thermo Scientific APIX 생산라인에서 제공하는 분석기 시스템을 반도체와 전자공업의 대종기체의 련속적인 품질통제의 선택으로 만들었다.API-MS는 전통적인 품질 제어 기술에 비용-효율성의 대안을 제공하여 각 대량 가스의 일련의 잠재적 오염 물질 농도 모니터링이 매우 낮은 측정 하한선에 도달 할 수 있도록 허용합니다.다른 기술에 비해 100배 더 우수합니다.APIX 제품 라인은 H2, CO, CO2, H2O, O2, CH4, Kr 및 Xe 및 기타 측정이 필요한 불순물을 포함하여 더 많은 완전한 불순물 분석을 제공합니다.300mm 웨이퍼 생산자가 오염물 제어 기체 품질 표준을 더욱 엄격히 발표함에 따라, 이 기술은 지속적으로 ppt급 불순물 측정 하한선의 기술이 될 것이다.

제품 특징:

1. 빠른 온라인 측정(일반<5초)으로 가스 공급의 변동 상황에 즉시 대응할 수 있음

2. 통합된 다중 분석기 분석 방안은 오염물의 신속한 검측을 제공한다

3.높은 감도 및 <10ppm의 측정 하한선은 현재 및 미래의 엄격한 가스 분석 요구 사항을 충족합니다.

4. 백업 능력은 단일 대기압 이온화 분석기(API)가 유지 관리할 때 각 대기압 이온화 질량분석기(APIMS)가 다중 흐름 분석을 지원할 수 있도록 허용한다

5. 공장 제어 및 데이터 집중을 위한 표준화된 산업 통신 프로토콜(OPC, DDE, Modbus, Siemens 3964R, PROFIBUS 등)

제품 적용:

1. 초고순도 질소(UHP N2)

2. 초고순도 아르곤(UHP Ar)

3. 초고순도 헬륨가스(UHP He)

4. 초고순도 수소(UHP H2)

작동 방식:

APIX 델타 큐와 APIX 쿼트로는 전자산업에서 초순도 가스에서 오염물질을 검출하는 데 널리 사용되는 양이온 대기압 이온화 질량분석기(API-MS) 기술을 사용한다.샘플이 들어갈 때, 샘플 가스는 대기압 또는 대기압보다 약간 높은 압력으로 이온원으로 들어간다.금속 바늘은 구멍 패널로 구성된 프리즘 그룹으로 통하는 입구 근처에 설치됩니다.그것은 높은 전압을 띠고 있어 어지럼 방전을 일으킬 수 있다.이로 인해 구멍에서 바늘로 가는 전자 흐름이 생겼다.전자와 이온원 중의 대량의 샘플 가스가 반응을 일으켜 대량의 샘플 가스 분자의 이온화를 초래한다.다행히도 질소, 수소, 헬륨, 아르곤에 비해 표본가스에서 농도가 매우 낮은 이런 오염물질은 아주 적은 에네르기를 수요하면 이온화를 산생할수 있다.바로 이러하기때문에 그 어떤 오염물분자도 표본가스에 나타나면 그들은 표본가스이온과 반응할 확률이 아주 높다.이런 반응이 발생할 때 전하가 오염물 기체 분자로 전이되어 다시 이온화가 형성된다.이 전하의 전이로 매우 높은 비율의 오염물 가스 분자가 이온화되었다.사실 이 효율은 진공강 이온화 기술을 사용하는 다른 질량 분광기보다 1000배 높다.일부 샘플, * 이온화된 오염물은 일련의 감압 렌즈를 거친 후 3중 4급 로드 질량 분광기에 들어간다.측정 품질 수가 300 달튼 (원자 질량 단위) 에 달하는 3중 4 단 막대는 모든 오염 물질의 정확한 측정을 보장 할 수 있습니다.펄스 카운터 증폭기의 노이즈 등급은 106개의 펄스당 10개에 불과하며, 대기압 이온 소스와 배합하면 1012의 1 ppt 낮은 12 레벨의 측정 하한선을 확보할 수 있다.

제품 구성:

APIX 델타 Q의 표준은 ppb 또는 ppt급 자동 교정에 사용할 수 있는 대기압 이온화 질량분석기 (API-MS) 1개와 Air Liquide 가스 처리 장치를 갖춘 단일 섀시로 구성되어 있다.표준 섀시는 상대적으로 공기가 깨끗하고 온도 제어가 가능한 환경을 위해 구성됩니다.필요한 경우 냉각 및 냉각 및 스크러빙 옵션도 여러 환경 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

APIX Quattro 표준 구성에는 4개의 대기압 이온화 질량분석기(API-MS) 독립 섀시와 세 번째 Air Liquide 가스 처리 장치 섀시가 장착된 세 개의 섀시가 사용됩니다.네 개의 질량 분광기 중 하나를 레일에 장착하여 앞으로 끌어낼 수 있어 유지 보수가 용이합니다.상단에 설치된 섀시 덮개에는 샘플링 가스 연결을 위한 흐름 전환 밸브 세트가 포함되어 있습니다.각 개별 벌크 가스 분석기에 여러 개의 흐름 경로를 연결할 수 있습니다.이러한 흐름 옵션은 수동 또는 자동으로 수행될 수 있습니다.모든 대기압 이온화 질량 분광기 (API-MS) 는 독립적이며 다류로 전환 기능을 갖추고 있습니다.한 대의 질량 분광기가 연간 고정 유지 보수를 할 때, 나머지 세 대의 질량 분광기를 사용하여 네 개의 벌크 가스를 모니터링할 수 있다.

이 두 가지 구성의 섀시 덮개 부품에는 수소 가스 누출 시 질량 분광기가 안전하게 꺼지도록 하는 수소 안전 시스템이 포함되어 있다.이 안전 설비는 질량 분광기와 독립적으로 전기를 공급한다.제한된 기동성이 필요한 경우 한 세트의 바퀴를 제공하여 이 질량 분광기가 한 테스트 지점에서 다른 테스트 지점으로 안전하게 밀어 넣을 수 있도록 할 수 있습니다.각 스펙트럼은 백업 배터리 플래시 메모리를 사용하여 실시간 운영 체제를 실행하는 프로세서를 통해 제어됩니다.이 프로세서는 일련의 내부 컨트롤러의 주인으로서 이더리움 케이블을 통해 상호 연결됩니다.이러한 마이크로프로세서의 각각은 가스 프로세서 및 다중 스트림 샘플링 시스템과 같은 독립형 부품으로 개별적으로 작동할 수 있습니다.

가스 프로세서는 별도의 보정 가스병만 필요하며 삼투관 장치의 습도 보정을 결합합니다.내부 배전 장치는 내부 분석기 네트워크를 통해 모니터링 및 제어됩니다.이 설계로 GasWorks 확장® 소프트웨어의 진단 능력각 다중 프로세서 네트워크는 질량 분광기가 신뢰할 수 있고 컴퓨터 워크스테이션이 필요하지 않으며 시료 흐름 데이터와 진단 정보를 DCS 또는 SCADA 시스템에 직접 전송할 수 있는 이중화된 통신 채널을 제공합니다.

각 통신 채널은 포인트 투 포인트 광섬유 통신 또는 하드 케이블의 전류 회로, 멀티 포인트 연결로 구성될 수 있습니다.각 분석기는 Microsoft와 함께 내장형 opc 서버를 구성할 수 있습니다.® 호스트 또는 다중 프로세스 게이트웨이 프로토콜(Modbus, Siemens,® Allen-Bradley,® 등.) 원활한 통신을 제공합니다.하드 케이블 아날로그 감지 및 디지털 경보 출력을 위해 스펙트럼이 필요한 경우 OPTO 22 SNAP 및 OPTOMIX 프로토콜은 * 지원되며 다양한 하드웨어 카드 부품을 사용할 수 있습니다.

Thermo Scientific GasWorks 소프트웨어

Thermo Scientific GasWorks 패키지는 스펙트럼 조작을 위한 직관적이고 정보가 풍부하며 유연한 창을 제공합니다.Gasworks 소프트웨어가 설치된 컴퓨터를 사용하여 초기 설정, 프로세스 데이터 및 진단 정보 표시를 완료할 수 있습니다.APIX에서 컴퓨터의 연결을 끊을 수도 있습니다.APIX는 컴퓨터와의 연결에서 벗어나 무인 모드에서 독립적으로 실행할 수 있습니다.* ISO 9001 품질 프로그램은 설계 개념에서 여러 세대 제품에 이르기까지 소프트웨어 팀에서 엄격하게 수행되었습니다.소프트웨어 설치는 검증할 수 있는 무결성과 정확성을 보장하기 위해 언제든지 확인할 수 있습니다.소프트웨어 업데이트는 원격으로 업로드할 수 있습니다.

기술 매개 변수: