TMC 클린룸 시험대

TMC는클린 룸시험대63-635

완전 스테인리스강TMC는ClassOne는™워크스테이션은 지상에 설치할 수 있도록 설계된 고성능 공기압 방진 워크스테이션으로, 클린룸 호환성을 극대화할 수 있다.동일한 Gimbal Piston에 의해 방진 성능™광학 플랫폼, 전자 현미경, 정밀 천평 및 스캐닝 터널 현미경에 * 대 렌비의 방진 성능을 제공하는 컴포넌트도 제공됩니다.

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ClassOne는워크스테이션은 알코올을 촉촉하게 적신 무융포로 닦았고, 출하 전에 플라스틱으로 이중 소포를 했다.

Gimbal Piston 방진기

모든CleanBench 작업대는 TMC의 Gimbal Piston 공기 방진기를 표준 구성으로 사용합니다.병렬 테스트에서 Gimbal Piston의 성능은 항상 다른 것보다 우수했습니다.공기 방진기.모든 축에서 뛰어난 저주파 방진 성능을 제공하며 매우 낮은 입력 인센티브 수준에서도 성능 사양을 유지할 수 있습니다.독점적인 감진 기술을 통해 Gimbal Piston은 상중하경의 페이로드를 안정시키고 방진 테이블의 간섭을 신속하게 제거할 수 있습니다.

장점

에서2Hz 시작 수직 및 수평 진동

에서10Hz에서 진동 95% 이상 감소

마찰이 거의 없으므로 스크롤 마찰이 정적 마찰로 전환되지 않음

바이트 역할을 수행하여 수평 변위 조정

* 낮은 입력 수준에서도Gimbal Piston®공기 방진기도 각 방향에서 뛰어난 방진 성능을 제공할 수 있다.이는 경미한 저항특성을 갖고있어 전형적인 저진폭환경의 지면진동에 높은 호응성을 갖고있으며 엄중한 순간적교란 (예를 들면 갑작스러운 부하변화나 상판충돌) 에는 아주 좋은 감진효과를 실현할수 있다.그 결과 Gimbal Piston 방진기는 * 이상의 방진 효과를 제공하여 거의 몇 초 안에 심각한 간섭을 제거할 수 있습니다.또한 상대적으로 무게중심이 높은 방진 시스템도 안정시킬 수 있습니다.격진 효과에는 영향을 주지 않는다.

저진폭 입력 응답

효과적인 방진기를 설계할 때 부딪히는 가장 큰 도전은 주위건축의 지면진동의 전형적인 저진동폭의 수입하에 량호한 성능을 유지하는것이다.방진기 사양은 일반적으로 진폭 입력 수준이 매우 높은 진동대에 방진기를 배치하는 측정을 기반으로 합니다.이 입력 진폭이 약 밀리미터인 테스트는 결과가 실제 사용 중인 성능을 반영하지 못하기 때문에 성능에 대한 예측이 비현실적이고 오도적입니다.

Gimbal Piston 방진기는 가장 조용하고 실제 지상 환경에서도 정해진 공명 주파수와 높은 수준의 감쇠량을 유지할 수 있도록 설계되었습니다.이 성능은 설계에 마찰이 거의 없기 때문에 스크롤 마찰에서 정적 마찰로 이행하는 것을 피할 수 있기 때문에 이렇게 낮은 진폭과 선형 관계를 가진다.

일반적인 바닥 진동 수준에서 테스트한 다른 모든 시스템은 공명 주파수보다 높거나 방진기 브래킷을 통한 전송이 크게 증가했습니다.

우리는 자신의 테스트와 많은 사용된 장치에서 더 큰 진폭과 더 높은 주파수에서 더 쉽게 더 나은 성능을 얻을 수 있다는 것을 반복적으로 관찰했기 때문에 낮은 입력 수준에서 성능 사양의 중요성을 강조합니다.

수평 및 수직 입력

우리의 혁신적인 방진기는 얇은 벽의 스크롤 밀봉 필름이 수평 변위에 적응할 수 있도록 만방향 노트 역할을 할 수 있다.Gimbal Piston 방진기는 케이블식 시계추 서스펜션을 사용하지 않고 메인 피스톤 우물 안으로 아래로 뻗은 강성 막대가 있는 별도의 상판에 하중을 배치합니다.막대의 아래쪽에는 단단하고 평평한 받침대를 지탱하는 구형의 끝부분이 있다.볼이 베이스에서 매우 가볍게 흔들리기 때문에 (슬라이딩 또는 스크롤 없음) 고유의 플렉시블 샤프트는 방진기에서 수평으로 구부릴 수 있습니다.입력이 마이크로로 변해도인치 이하정적 마찰은 스크롤 마찰과 거의 같기 때문에 수평적으로도 매우 효과적입니다.수평 운동은 일반적인 수직 필름 벤드로 변환되지만아니동상: 피스톤의 한쪽은 위로, 다른 한쪽은 아래로 만방향 절식으로 운동한다.

기타 유형 방진기의 한계

두꺼운 벽 고무 필름.대부분의 상업용 방진기는 피스톤에 값싼 두꺼운 벽 고무 필름을 사용하여 수직 방진을 실현한다.이러한 컴포넌트의 상대 때문에아니유연성, 저진폭 방진 성능이 좋지 않습니다.비록 이 시스템은 손으로 느끼기에 비교적"부드러운"이지만, 전형적인 낮은 수준의 지면 진동에 대해 고무는 유연한 방진기가 아닌 강성 연축기에 가깝다.

공기압 방진기를 밀봉하다.밀봉 공기 방진기는 부하 변화에 따라 자동으로 조정되지 않는다.이런 시스템의 주요 한계는 그것들이 너무 딱딱해서 효과적으로 진동을 차단할 수 없다는 데 있다.예를 들어, 실제1.5Hz 공명 주파수의 패시브 방진기는 부하, 온도 또는 압력에 미세한 변화가 발생할 때 수직으로 몇 인치 이동하며 끊임없이 수동으로 조정해야 한다.따라서 실제 밀봉 방진기는 이 설계의 저공진 주파수가 없다.

베어링 슬라이더.이론적으로 베어링 슬라이더는 그 결합 효과를 통해 수평 방진을 실현할 수 있다.실제로 이런 설계가 저진폭에서 작동하려면 공차가 매우 작고 정밀하게 연마된 경화 베어링이 필요하다.기존의 상용 버전은 베어링이 굴러갈 수 있도록 저진폭의 정적 마찰력을 극복할 수 없다.또한 이러한 모든 시스템은 처음에는 정렬이 어렵고 교정 범위를 벗어나기 쉽습니다.

자체 조립하다. 자체 제작 방진 시스템 - 일반적으로 고무 패드, 테니스공 또는 에어백에 장착 된 강판 또는 화강암 플레이트 - 간섭 진동 빈도가 높고 최소 방진이 필요한 경우에만 작동합니다.모든 방진기는 댐퍼 스프링에 질량을 배치하는 원리를 사용하지만, 스프링의 강도를 통해 성능이 구분됩니다. 스프링이 단단할수록 공명 주파수가 높습니다.따라서 자체 제작 솔루션은 높은 공명 주파수로 제한됩니다.

보유1.5Hz 수직 공명 주파수의 Gimbal Piston™진동 차단기는 2 Hz에서 진동을 차단하기 시작하며 10 Hz에서 진동을 95% 이상 줄일 수 있습니다.7Hz의 공명 주파수를 가진 강판 아래의 테니스공은 10Hz 이상에서 격진을 시작하고 30Hz에서 진동을 90% 줄인다.그러나 대부분의 건물 바닥은 5~30Hz 사이에서 가장 높은 진동 변위를 나타내기 때문에 테니스나 고무 패드는 5~10Hz 사이의 환경 주파수를 확대함으로써 실제로 문제를 더 심각하게 만들 수 있습니다.

규격

주문 양식

띠Gimbal Piston 방진의ClassOne는워크스테이션

부품- 모든 작업대 크기

부품- 치수에 따라 다름

* 선반을 정할 때 필요