TMC 액티브 공기 소진기

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개요

TMC 액티브 공기 소진기,Electro-Damp반도체 제조 애플리케이션에서 처리량, 해상도, 생산량을 높이는 데 특화된 최초의 상업용 능동 방진 시스템이다.Electro-Damp II는 모듈화, 디지털 제어, 피드백, 고힘/고클리어런스 실행기 및 현미경 광각, 감지 및 계량 도구와 같은 OEM 애플리케이션을 위해 특별히 설계된 여러 디지털 사용자 인터페이스를 추가하여 원시 시스템을 * 완전히 재설계한 제품입니다.

제품 정보

TMC는능동 공기 소진그릇전기 전기 damp II

Electro-Damp®반도체 제조 애플리케이션에서 처리량, 해상도, 생산량을 높이는 데 특화된 최초의 상업용 능동 방진 시스템이다.Electro-Damp II는 모듈화, 디지털 제어, 피드백, 고힘/고클리어런스 실행기 및 현미경 광각, 감지 및 계량 도구와 같은 OEM 애플리케이션을 위해 특별히 설계된 여러 디지털 사용자 인터페이스를 추가하여 원시 시스템을 * 완전히 재설계한 제품입니다.

반도체 제조 도구는 방진 시스템에 대해 서로 모순되는 요구를 제기했다.바닥 소음에 대처하기 위해서는 시스템이 바닥 진동을 효과적으로 필터링하여 진동 방지 표면에 도달하지 못하도록 충분히 부드러워야합니다.이와 동시에 시스템은 작업대의 힘에 대처하기 위해 충분히 단단해야 하며 작업대의 운동으로 격진표면에 최소한의 변위가 생기고 재빨리 안정될수 있도록 해야 한다.

TMC主动空气消振器

관성, 액티브 피드백 댐핑 외에Electro-Damp II는 또한 정보 피드백을 사용하여 시스템 응답을 더욱 개선합니다.피드백은 작업대 컨트롤러에서 작업대 위치와 가속도에 대한 정보를 얻은 다음 이 데이터를 처리하여 페이로드에 힘 구동을 제공하여 작업대에서 발생하는 페이로드 동작을 크게 감소시킵니다.시스템은 피드백 정보를 디지털 방식으로 읽거나 양극성 아날로그 신호로 사용하거나 직교 인코더의 출력을 읽을 수 있다.DC-2000 디지털 컨트롤러는 또한 작업대 테스트 모드를 사용하여 피드백에 필요한 매개변수를 자동으로 조정할 수 있습니다.따라서 초기 설치 시 또는 페이로드를 변경한 후 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다.

Electro-Damp II의 모듈식 설계를 통해 시스템은 별도로 전자 서보 밸브와 함께 사용할 수 있습니다 (CMM과 같은 중형, 저가속도 응용 프로그램에), 전자기 구동에만 사용할 수 있습니다 (고가속도를 사용하는 가벼운 작업대에) 또는 둘 다와 함께 사용할 수 있습니다 (* 까다로운 응용 프로그램에).

TMC는능동 공기 소진그릇전기 전기 damp II특징

● 6자유도 능동 감진 시스템

● 무접촉 전자 고도 제어

● 디지털 컨트롤러

● 피드백 입력 교정 작업대에서 발생하는 페이로드 동작

● 고출력 전자기 집행기는 단독으로 제공되거나 시스템에 통합될 수 있다

● 페이로드 운동과 작업대에서 발생하는 운동의 안정 시간 감소

● 처리량, 해상도 및 생산성 향상

● 모듈식 설계를 통해 사용자는 * 완전한 유닛 또는 구성 요소를 지정할 수 있습니다.OEM 통합

● 피드백 매개변수를 자동으로 조정하여 설정 감소

규격

일반
안정 시간	0.2초 * *
활성 자유도	6
높이 제어 정밀도	< 10 µm 에센서sd>
선형 실행기 (수평 및 수직)
직류 저항	5Ω
힘 상수	최대 12파운드 / Am - 55개 소 / Am
최대 연속력	25파운드 ~ 110개 소
피크 파워@ 7 A	87파운드 ~ 385소
전기 시간 상수	2.6ms
일정	6.4cm(0.25인치)
가로 간격	0.09인치 ~ 2.3mm
잡산장	< 1 G @ 2in.d>
크기(가로x세로x두께)	2.8 x 6.8 x 4.5인치 71 x 173 x 114 mm
밸브 (액티브 전용)
밸브 유형	축척 E/V 서보
제어 유형	압력 또는 공기 흐름
최대 트래픽	1.5 SCFM
공기 소비량 (방진기 4개)	< 2 SCFM (무대 모션 없음) d>
- 3dB 응답	≤ 10Hz(일반)
높이 제어 센서
입력	비접촉 감지 (와류)
전자 구성	이중 선 NAMUR 3선 또는 18mm 지름
범위	규격 15mm(30mm 와이어) 표준 6mm, 18mm 와이어
해상도	< 1 µmd>
패시브 에어 장착 시트
표준 하중력	1000, 2500, 3300, 5700파운드 @ 80PSI
댐핑 (10: 1)	< 3SD는>
DC-2020 디지털 컨트롤러
프로세서	듀얼 코어: DSP @ 150 MHz 및 Cortex M3 @ 75 MHz
아날로그 I/O	32/24 채널 (16/16비트)
샘플링 속도	공칭 값은 5kHz
전면 패널	전원 스위치 3색 상태 표시등 이더넷 RJ-45 icroSD 카드 슬롯 BNC 소켓 2개(각각 입력 또는 출력으로 사용 가능) USB 2.0 포트 2개(유형 B 및 Micro 유형 B) FW 업그레이드 버튼
후면 패널	전원 입력 아날로그 I/O 소켓 에어 포트 이더넷 RJ-45 USB 2.0 1개 RS-232의 DB 9 릴레이 콘센트
사용자 인터페이스	USB 또는 이더넷을 통한 GUI
전원	90-240 VAC，50-60 Hz，최대 100W
크기(가로x세로x두께)	16.8 x 9.0 x 1.75인치 427 x 229 x 45 mm 표준 RETMA 장치 1개
전력 증폭기
通道	8
채널당 최대 전류	7A는
입력	선형
피크 전력	총 700W
냉각	환경, 강제 환기
보호	재설정 가능한 퓨즈, 전자 열 보호, 과류, 저압
조작	원격 조종 또는 수동
치수	1 RETMA 랙 유닛 높이 x 15형(381mm) 깊이

적용 지침

전기 Electro-Damp®

에서Precitech는PEPS II-VX를 사용하여 Freeform L 초정밀 작업셀에서 3축(XYZ) 측정

TMC主动空气消振器

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