TMC 액티브 공기 방진 조정 시스템

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개요

PEPS II는 TMC의 * 리PEPS(정밀 전자 위치 확인 시스템)에 기반을 두고 개선된 TMC 액티브 공기 방진 조정 시스템이다.PEPS II는 새로운 디지털 컨트롤러를 추가하여 사용하기 쉽고 더 많은 기능과 향상된 사용자 인터페이스를 제공합니다.

제품 정보

TMC 액티브 공기 방진 조정 시스템PEPS는 II

PEPS II는 TMC의 *리PEPS(정밀전자위치확인시스템)에 기반을 두고 개선됐다.PEPS II는 새로운 디지털 컨트롤러를 추가하여 사용하기 쉽고 더 많은 기능과 향상된 사용자 인터페이스를 제공합니다.PEPS II는 TMC 공기압 방진 시스템에 사용되는 디지털 비접촉식 고도 제어 시스템이다.이 시스템은 일반적으로 기계 높이 밸브와 기계 높이 감지 연결대를 포함한다.그 응용에는 안정된 시간과 생산량을 개선해야 하는 반도체 제조 설비와 최적의 소음 성능과 플랫폼 안정성이 필요한 정밀 실험실 환경이 포함된다.

TMC主动空气隔振调平系统

TMC 액티브 공기 방진 조정 시스템PEPS는 II특징

● 디지털 제어, 사용자 친화적LCD 인터페이스

● 사용Gimbal Piston, CSP 및 MaxDamp 방진 시스템의 비접촉 전기 공기 흐름 높이 제어

●Z축 위치 재현성: 10마이크로미터

● 기존 기계 높이 제어 시스템의 레버 접점을 제거하여 방진 효과 개선

● 공기압 피드백 기능 최소화X-Y 플랫폼 동작에 대한 Z축 반응

● 빠르고 안정적인 이유로 조정 가능X-Y 플랫폼으로 인한 모션

● 옵션 "VX 기능에는 액티브 댐퍼 수직 방진기 공명을 위한 관성 센서가 내장되어 있습니다.

● "소프트 도킹"과 호환됩니다.모션 설치 없이 로드 허용/ 웨이퍼 마운트 해제

● 어울리는 전자 밸브.스위치 또는 레거시 전자 밸브는 펄스 노이즈를 발생시키지 않습니다.

● 배기관은 배기가스의 청결 처리에 사용된다

● 논리적 스톱 제어 및 상태

규격

물리적 크기	PEPS II 컨트롤러 1.72인치(43.7mm) 두께 x 8.0인치(203mm) 가로 x 9.4인치(240mm) 세로
무게	PEPS II 컨트롤러: 약 1.2kg(3.0파운드)
환경 (EN 61010-1:1993 참조, EN 61010-1/A2 : 1995)	실내 전용 해발 최대 2000m(6560피트) 최대 허용 온도: 5 ° C ~ 35 ° C 최대 허용 습도: 31°C 미만은 80%, 40°C에서는 선형 50% 상대 습도 감소 기본 전원 공급 장치 전압 허용치: 85VAC - 240VAC 과전압 범주: 2 오염 등급(IEC 664): 2 환기 요구 사항: 양쪽 간격 25mm, 상하 간격 0mm
전원 요구 사항	전원 입력 전압 범위: 90-230VAC 입력 주파수 범위: 50-60Hz
PEPS는II 사용자 인터페이스 (전면 패널)	전원 스위치 메뉴 버튼 4개 LCD 20x2자 표시 진단 소켓 2개(BNC 유형) 3색 상태 표시등 USB 포트
PEPS는II 인터페이스 (후면 패널)	EMI 필터가 포함된 AC 전원 입력 1/4인치 외경 파이프용 공기 입력 카드 입력 포트 1개 1/4인치 외경 파이프용 공기 출력 (배기) 카드 입력 포트 1개 1/4인치 외경 파이프용 공기 유입 포트 4개 (방진기당 1개) DB-25 공공헤드 입력단-출력단 및 피드백 소켓 Phoenix 0.2인치 피치 6 핀 그린 커넥터 1개(수직 근접 센서) Phoenix 3.5mm 피치 6 핀 블랙 커넥터 1개(수평 근접 센서) 접지 스레드 나사 (# 10-32 스레드) DB-25 F 소켓: 디지털 입력 포트 1개, 지진 감지기 센서 커넥터 3개("-VX" 옵션) DB-25 F 소켓: 디지털 입력단 1개, 전류 출력 근접 센서 3개(옵션)
PEPS는 II 성능 사양	아날로그 입력(단극): 8 x 12비트(16비트 샘플링 사용), 0.3.0V 전체 거리 아날로그 입력(전면): 5 x 12비트 (16비트 샘플링 사용), ±9V 풀 스케일 아날로그 입력(단극) 보호: +5V, -0.5V 한계 아날로그 입력 (피드백) 보호: ± 15V 한도 아날로그 출력: 4 x 12비트 (16비트 샘플링 사용), 0.3.0V 전체 거리 아날로그 출력(옵션): 8 x 16비트, 0.3.0V 전체 거리 아날로그 출력 보호: 무한 단락 보호, +5볼트 한도폭 디지털 입력 전압 정격값: 0... +3.3V, +5V 허용 한도(+5V) 디지털 출력 정격: 0... + 3.3 V，최대 20mA 디지털 I/O 보호: +5V, -0.5V 한도 외부 전원 공급 장치: +5 VDC, 최대 2.0 A, +15 VDC, 최대 1.0 A(최대 20W) 통신 포트: USB, PC에서 RS-232로 표시 프로세서: ARM7TDMI / 41.78MHz 제어 회로율: 100Hz - 2.0KHz 근접 센서: 수직 3개(수평 3개 옵션) 와류, NAMUR 0-20 mA 출력 속도 센서 - 지진 감지기("-VX" 옵션): 수직 3개, 전류 출력
공기압 규격	장기 고도 안정성: ± 50 마이크로미터 장기 기울기 안정성: ± 50 마이크로아크 서보 밸브: 4 x 양방향 가변 절류 구멍 비례 서보 밸브 밸브 기술: 순수 갑류 최대 입력 압력: 120 PSI 또는 8.3 Bar 또는 830 KPa 공칭 공기 소비량: 60 표준 L/분 (2 표준 입방 피트/분) 공기 요구사항: 깨끗하고 건조한 공기, 20마이크로미터 이상으로 여과 고장 안전: 전원 공급 장치가 고장나거나 전원이 꺼질 때 방진기 공기 흐름 커넥터: 1/4인치 외경 호스용 원터치 고속 커넥터

성능

TMC主动空气隔振调平系统

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