SU1510은

표준 사양

(1) 기본 사양

SE 이미지 해상도 : 30 kV에서 3.0 nm (x100,000, WD = 5 mm, 고진공 모드)
3 kV에서 15 nm (x30,000, WD = 5 mm, 고진공 모드)

BSE 이미지 해상도 : 30 kV에서 4.0 nm (x60,000, WD = 5 mm, 낮은 진공 모드에서 6 Pa)

확대 : ´5–´300,000
(가장 높고 가장 낮은 확대는 가속화 전압, WDand 스캔 속도에 의존합니다)

(2) 전자 광학

전자 광선 소스 : 미리 중심화된 카트리지 필라멘트 ( : 전전중심화된 카트리지 필라멘트)

전압 가속화 : 0.3 kV - 30 kV

총 편견: 사각 편견

: 2 단계 전자기 회전 (이미지가 동결되면 2 광속 공백으로 작동)

렌즈 시스템: 3 단계 전자기 렌즈 감소 광학

Stigmator: X-Y octopole 전자기

스캔 코일 : 2단계 전자기 회전

객관적 이동 가능한 구경: 4 개의 구멍 withclick-stop 디자인 (30, 50, 80, 150 µm 직경)

이미지 이동: ±50 WD = 15 mm에서 µm 이상

분석 위치 : WD = 15 mm, TOA = 35°

감지기: 고진공 모드의 SE 감지기
고진공 및 낮은 진공 모드에서 BSE 감지기

(3) 표본 단계

(4) 대피 시스템

대피 제어 : 모터 모터 모 : 모터 : 모모터 모모모터 모모터 모모터 : 모모터 모모터 : 모터 : 모터 모터 모터 모터 모터 모모터

진공 게이지 : 피라니 게이지

궁극적인 진공 : 1.5 x 10^-3Pa

조절 가능한 압력 범위: 6 ~ 270 Pa (내부 진공 모드만)

진공 펌프:터보 분자 펌프 (TMP) 210l/s,´1개의 기름 로터리 펌프 135 l/min. (50Hz), 162 l/min. (60Hz),´1

(5) 전시

제어 : 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI), 영어 메뉴

OS: 마이크로소프트^®윈도우^®XP 전문가

가동: 마우스/키보드, 회전하는 knob 세트 (선택권)

모니터: 19 유형 LCD (1280)´데스크톱에 1024 픽셀)

이미지 표시 모드 : 전체 화면 디스플레이 (1280'960 픽셀)
표준 디스플레이 (640)´480 픽셀)
이중 이미지 디스플레이 (640 ´480 픽셀)´2), 신호 혼합

스캔 모드 : TV/FAST

: 느린

: 감소된 지역 (320)´240 픽셀)

: 파형

: 분할 스크린 / 이중 확대

: 고정의 이미지 캡처 (최대 2560 ′)1920 픽셀)

: 프레임 통합 이미지 캡처 (최대 2560 ′)1920 픽셀)

스캔 속도 : TV 스캔
(640´480 화소, 25/30* 프레임/초.)

: 빠른 검사
(전체 화면 표시: 6.3/7.5* 프레임/초.)

: 느린 검사
(전체 화면 전시: 1, 4, 20/16, 40/32, 80/64 * sec./frame)
(640´480 화소: 0.5, 2, 10/8, 20/16, 40/32*sec./frame)

: 감소된 지역 스캔
(320´240화소: 25/30,3/4* 프레임/초.)
* 전원 공급의 주파수: 50/60Hz

자동 조정 기능

: 자동적인 밝기 & 대조 (ABCC)

: 자동 초점 제어 (AFC)

: 자동적인 Stigmator & 초점 (ASF)

: 자동적인 필라멘트 포화 (AFS)

: 자동 : 광속 정렬 (ABA)

: 자동 : 광속 설정 (ABS)
(AFS + ABA + 자동 총 편견)

신호 및 이미지 처리 기능

: 평균으로 S / N 비율을 개선 (TV, FAST 스캔)

픽셀 통합으로 S/N 비율 개선

: 프레임 통합으로 S / N 비율을 개선
(통합을 위한 최대 프레임: 1024) (TV, FAST, SLOW1)

: 복합 양색 이미지 표시
(이중 이미지 표시 모드 / 이미지를 저장하는 실시간)

: 가짜 색상 표시 (이미지 저장)

: 실시간 이미지 처리
(역대조, 伽마 제어)

: 실시간 히스토그램 표시

: 이미지 저장을 위한 이미지 처리
(역대조, 가마 제어, 부드러운, 가장자리 향상 등)

이미지 저장 : 이미지 저장 크기
(640´480 픽셀, 1280'960 픽셀, 25601920 픽셀, 5120´3840 픽셀)

: 이미지 파일 형식 : BMP, TIFF, JPEG

이미지 인쇄 : 표준에 있는 자유로운 배치 인쇄 기능

이미지 저장 관리

표준: SEM 데이터 관리자 (이미지 데이터 베이스)
(데이터 관리, thumbnail 표시, 다양한 이미지 처리 기능)

기타 기능 : 이미지가 동결된 경우 : : 이이이미지가 : 이이미지가 동결된 경우 이이이미지를 : Bea : Beam blanking when an image is frozen.

: 라스터 회전

: 동적 초점 / 기울기 보상

: 데이터 표시 (이미지 번호, 전압, 확대, 미크론 마커, 단위, WD, 날짜, 시간, 압력, 탐지기 가속화)
이미지와 없이 선택할 수 있는 데이터 디스플레이

: 데이터 입력그림 (원형, 직사각형, 화살표, 측정 선), 문자］

: 쉬운 측정 기능 (2개의 점 사이의 거리 및 화살표로 측정 선)

: 3D 애니메이션 유지 보수 가이드

이미지 전송 Quartz Imaging PCI

X-Ray 모드 기능 : X-레이 속도 미터 (0 - +10V) andMapping (TTL)를 위한 입력 신호 단말기

: 스캔 모드 (라인 분석, 점 분석, 평균 농도 분석)

: DBC 공용영역 (선택권)

외부 장비용 연결 포트

: USB 인터페이스

: 네트워크 인터페이스 (이더넷), 설정은 선택권입니다.

VTR 신호: NTSC 검은 백색 신호만 (BNC), 표준 표시 모드에서만 이미지.

(6) 안전 장치

: 정전, 누출 전류 및 진공 장애에 대해 보호.

(7) Dimensionand 무게