SR-Mapping 반사막 두께계

1. 개요

SR-매핑반사막 두께계시리즈반사간섭의 원리를 이용하여 무손상 측정을 진행하며, 박막 표면의 반사광과 박막과 기저계면의 반사광이 간섭하여 형성된 반사 스펙트럼을 분석하고, 동시에 R-Theta 변위대를 배합하여 6~12인치 샘플과 호환하여 전체 샘플을 빠르게 스캔하여 박막 두께, 광학 상수 등 정보를 신속하고 정확하게 측정하며, 막의 두께 균일성을 평가할 수 있다.

■광학 박막 측정 솔루션；

■ 비접촉·비파괴 측정;

■ 핵심 알고리즘은 박막에서 두꺼운 막까지, 단층에서 여러 층의 박막 분석을 지원합니다.

■ 필름 두께 중복성 측정 정밀도: 0.02nm

■ 전자동 측정, 측정 포인트와 위치는 Recipe에서 필요에 따라 편집 가능

■고강도 할로겐 램프 광원을 사용하여 스펙트럼이 자외선 가시광선을 근적외선 범위까지 커버한다;

■ 광기전 고도통합 일체화 설계로 부피가 작고 조작이 간편하다;

■ 박막층 상계면과 하계면의 반사광 상간섭 원리를 바탕으로 단층 박막에서 다층까지 쉽게 해석한다;

■강력한 핵심 분석 알고리즘 구성: FFT 분석 두꺼운 필름, 곡선 의합 분석법 분석 필름의 물리적 매개변수 정보;

3. 제품 응용

각종 매체 보호 필름, 유기 필름, 무기 필름, 금속 필름, 코팅 등 필름 측정에 광범위하게 응용된다。

기술 매개변수